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【求助】如何换算不同气体的流量比、体积分数比和分压比的关系 已有1人参与
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| 在做sputtering或者CVD时,根据PV=nRT,不同气体分压比等于物质的量之比。在这种情况下,物质的量之比等于体积分数比吗?那么体积分数比跟气体流量比相等吗?我只知道气体流量比跟分压比不同?如何换算?能否给出定量的计算?非常感谢! |
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