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【求助】如何换算不同气体的流量比、体积分数比和分压比的关系 已有1人参与
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| 在做sputtering或者CVD时，根据PV=nRT，不同气体分压比等于物质的量之比。在这种情况下，物质的量之比等于体积分数比吗？那么体积分数比跟气体流量比相等吗？我只知道气体流量比跟分压比不同？如何换算？能否给出定量的计算？非常感谢！ |
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