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小叶9451

铁虫 (初入文坛)

[求助] 【求助】如何换算不同气体的流量比、体积分数比和分压比的关系 已有1人参与

在做sputtering或者CVD时,根据PV=nRT,不同气体分压比等于物质的量之比。在这种情况下,物质的量之比等于体积分数比吗?那么体积分数比跟气体流量比相等吗?我只知道气体流量比跟分压比不同?如何换算?能否给出定量的计算?非常感谢!
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peterflyer

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【答案】应助回帖

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如果分别独立存在,物质的量之比等于体积分数比;但若混合起来后就不等了。气体质量比应该只等于分压比。
Pi*V=ni*R*T
pi/ni=R*T/V=Constant
2楼2014-06-11 22:36:34
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小叶9451

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-06-11 22:36:34
如果分别独立存在,物质的量之比等于体积分数比;但若混合起来后就不等了。气体质量比应该只等于分压比。
Pi*V=ni*R*T
pi/ni=R*T/V=Constant

对,您说的有道理~我补充再问一个问题,你看我想的对不。分压比等于物质的量之比。而对于通入的气体,气体流量比也等于物质的量之比。但不同气体的气体流量比并不等于分压比,就是因为通入气体后是一个动态过程,比如不同气体通入都是3 sccm,但是最终平衡状态留在腔体中的分子个数并不相等。所以分压也不相等,请问,我想的对吗?
3楼2014-06-12 09:40:39
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 小叶9451 at 2014-06-12 09:40:39
对,您说的有道理~我补充再问一个问题,你看我想的对不。分压比等于物质的量之比。而对于通入的气体,气体流量比也等于物质的量之比。但不同气体的气体流量比并不等于分压比,就是因为通入气体后是一个动态过程,比 ...

分压比等于摩尔比。多种气体混合后各种气体的体积均相同,只是分压不同,分压之和等于总压---大气压。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2014-06-12 10:44:17
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