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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】如何换算不同气体的流量比、体积分数比和分压比的关系
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小叶9451

铁虫 (初入文坛)

[求助] 【求助】如何换算不同气体的流量比、体积分数比和分压比的关系 已有1人参与

在做sputtering或者CVD时，根据PV=nRT，不同气体分压比等于物质的量之比。在这种情况下，物质的量之比等于体积分数比吗？那么体积分数比跟气体流量比相等吗？我只知道气体流量比跟分压比不同？如何换算？能否给出定量的计算？非常感谢！
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1楼 2014-06-11 17:39:13
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 小叶9451 at 2014-06-12 09:40:39
对，您说的有道理~我补充再问一个问题，你看我想的对不。分压比等于物质的量之比。而对于通入的气体，气体流量比也等于物质的量之比。但不同气体的气体流量比并不等于分压比，就是因为通入气体后是一个动态过程，比 ...

分压比等于摩尔比。多种气体混合后各种气体的体积均相同，只是分压不同，分压之和等于总压---大气压。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2014-06-12 10:44:17
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
如果分别独立存在，物质的量之比等于体积分数比；但若混合起来后就不等了。气体质量比应该只等于分压比。
Pi*V=ni*R*T
pi/ni=R*T/V=Constant
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2楼2014-06-11 22:36:34
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小叶9451

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-06-11 22:36:34
如果分别独立存在，物质的量之比等于体积分数比；但若混合起来后就不等了。气体质量比应该只等于分压比。
Pi*V=ni*R*T
pi/ni=R*T/V=Constant

对，您说的有道理~我补充再问一个问题，你看我想的对不。分压比等于物质的量之比。而对于通入的气体，气体流量比也等于物质的量之比。但不同气体的气体流量比并不等于分压比，就是因为通入气体后是一个动态过程，比如不同气体通入都是3 sccm，但是最终平衡状态留在腔体中的分子个数并不相等。所以分压也不相等，请问，我想的对吗？
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3楼2014-06-12 09:40:39
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