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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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haosonghappy

铁杆木虫 (著名写手)

Dr.

[交流] CVD设备中的流量与压强问题

我的CVD设备以前是400SCCM的流量可以维持管内压强为4KPa,而现在同样的流量只能维持300Pa,不知为什么?没有检查到漏气的地方
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avgon

至尊木虫 (著名写手)

★ ★
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haosonghappy: 金币+1 2014-08-27 08:36:51
引用回帖:
3楼: Originally posted by haosonghappy at 2014-08-26 21:50:34
你好,钢瓶气压足够,有13mpa,还是同一个泵啊,阀门打开程度未变,只是前几天对机械泵进行了除水汽,难道有影响么?...

有可能,不排除这种影响,你这问题如果正好出现在除水汽后,那就肯定与这个过程有关了,再仔细去考察下,应该就会发现问题。
仰望星空脚踏实地
4楼2014-08-26 22:51:46
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avgon

至尊木虫 (著名写手)

★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
haosonghappy: 金币+2 2014-08-26 21:48:51
1. 钢瓶内气压变得不足 2. 泵抽速变快/原来抽气的管道设有阀门,阀门打开程度变大  3.还未检查到漏气位置
这些都有可能是此问题的原因
仰望星空脚踏实地
2楼2014-08-26 19:58:47
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haosonghappy

铁杆木虫 (著名写手)

Dr.

引用回帖:
2楼: Originally posted by avgon at 2014-08-26 19:58:47
1. 钢瓶内气压变得不足 2. 泵抽速变快/原来抽气的管道设有阀门,阀门打开程度变大  3.还未检查到漏气位置
这些都有可能是此问题的原因

你好,钢瓶气压足够,有13mpa,还是同一个泵啊,阀门打开程度未变,只是前几天对机械泵进行了除水汽,难道有影响么?
Wer mit Ungeheuern kämpft, mag zusehn, dass er nicht dabei zum Ungeheuer wird. Und wenn du lange in einen Abgrund blickst, blickt der Ab
3楼2014-08-26 21:50:34
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
haosonghappy: 金币+1 2014-08-27 08:37:01
引用回帖:
3楼: Originally posted by haosonghappy at 2014-08-26 06:50:34
你好,钢瓶气压足够,有13mpa,还是同一个泵啊,阀门打开程度未变,只是前几天对机械泵进行了除水汽,难道有影响么?...

抽力增强了,可以相应的减小阀门打开程度。
5楼2014-08-26 23:58:54
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