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haosonghappy铁杆木虫 (著名写手)
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CVD设备中的流量与压强问题
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| 我的CVD设备以前是400SCCM的流量可以维持管内压强为4KPa，而现在同样的流量只能维持300Pa，不知为什么?没有检查到漏气的地方 |
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