CVD设备中的流量与压强问题 - 微米和纳米 - 合成表征 - 第2页小木虫论坛-学术科研互动平台

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木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

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引用回帖:

9楼: Originally posted by haosonghappy at 2014-08-27 08:45:04
减压阀没有问题，只是质子流量计的示数跳动很大，不知什么原因？...

顺着这个线索找，一定能找到原因的，也就一定能够解决问题的。

11楼2014-08-27 09:53:48

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新虫 (初入文坛)

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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

你好，首先请确认一下4kpa和300pa，这两个真空度是有很大差别的，前者大约40mbar,后者只有3mbar左右，可以肯定表现出来的现象不可能是漏气，因为漏气只能使真空度下降，大于400Kpa，你可以去查查真空泵那边，是不是抽气管道有调节阀开度比以前要大，

12楼2016-08-20 07:45:27

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