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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » CVD设备中的流量与压强问题
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haosonghappy

铁杆木虫 (著名写手)

Dr.

[交流] CVD设备中的流量与压强问题

我的CVD设备以前是400SCCM的流量可以维持管内压强为4KPa，而现在同样的流量只能维持300Pa，不知为什么?没有检查到漏气的地方
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Wer mit Ungeheuern kämpft, mag zusehn, dass er nicht dabei zum Ungeheuer wird. Und wenn du lange in einen Abgrund blickst, blickt der Ab
1楼 2014-08-26 17:58:19
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求学小辈_me

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你好，首先请确认一下4kpa和300pa，这两个真空度是有很大差别的，前者大约40mbar,后者只有3mbar左右，可以肯定表现出来的现象不可能是漏气，因为漏气只能使真空度下降，大于400Kpa，你可以去查查真空泵那边，是不是抽气管道有调节阀开度比以前要大，
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12楼2016-08-20 07:45:27
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avgon

至尊木虫 (著名写手)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
haosonghappy: 金币+2 2014-08-26 21:48:51
1. 钢瓶内气压变得不足 2. 泵抽速变快/原来抽气的管道设有阀门，阀门打开程度变大  3.还未检查到漏气位置
这些都有可能是此问题的原因
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仰望星空脚踏实地
2楼2014-08-26 19:58:47
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haosonghappy

铁杆木虫 (著名写手)

Dr.
引用回帖:
2楼: Originally posted by avgon at 2014-08-26 19:58:47
1. 钢瓶内气压变得不足 2. 泵抽速变快/原来抽气的管道设有阀门，阀门打开程度变大  3.还未检查到漏气位置
这些都有可能是此问题的原因

你好，钢瓶气压足够，有13mpa，还是同一个泵啊，阀门打开程度未变，只是前几天对机械泵进行了除水汽，难道有影响么？
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Wer mit Ungeheuern kämpft, mag zusehn, dass er nicht dabei zum Ungeheuer wird. Und wenn du lange in einen Abgrund blickst, blickt der Ab
3楼2014-08-26 21:50:34
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avgon

至尊木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
haosonghappy: 金币+1 2014-08-27 08:36:51
引用回帖:
3楼: Originally posted by haosonghappy at 2014-08-26 21:50:34
你好，钢瓶气压足够，有13mpa，还是同一个泵啊，阀门打开程度未变，只是前几天对机械泵进行了除水汽，难道有影响么？...

有可能，不排除这种影响，你这问题如果正好出现在除水汽后，那就肯定与这个过程有关了，再仔细去考察下，应该就会发现问题。
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仰望星空脚踏实地
4楼2014-08-26 22:51:46
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