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绝缘层制备问题
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图中是用电弧方法，Al阴极制备的Al2O3涂层。在涂层的断面发现有大的金属Al颗粒，XRD测试也有很强的Al峰。制备涂层的主要目的是绝缘。有的区域绝缘测试会失效。从以上测试结果推测是由于涂层中镶嵌的Al金属颗粒引起的绝缘强度降低，不知该推测是否有人认同，或也发现过类似的问题。请大家多多交流，多谢！ 1.JPG  2.JPG  3.jpg |
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