应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 2英寸硅片光刻显影后出现干涉条纹是为什么
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
81/1返回列表
查看: 2355  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

simvener

银虫 (小有名气)

[求助] 2英寸硅片光刻显影后出现干涉条纹是为什么 已有4人参与

2英寸硅片光刻，正胶，曝光，显影，出现干涉条纹，用的是接触式光刻，曝光时硅片和掩膜板之间干涉条纹出现，这以前也有，正常现象，不影响显影，但是最近发现按以往参数显影后光刻胶有些地方显不掉，有些地方显掉了，呈现出曝光时候的干涉条纹状，加大曝光时间，现象减弱，一直加曝光时间到原来的两倍（由3s变为7s）才能完全ok，请问这是怎么回事？还是光刻机原因？光刻胶，烘胶温度，曝光机辐照功率都已经试过，问题依然。
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

实验们

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-07-02 21:35:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

spiderman504

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
1.光刻胶用了多久？可能过期了；
2.温度太高或烘烤时间太长时，有时候就很难显影干净；
3.显影时要不断摇晃拨动片子，有时候你第一遍没显干净，吹干后就很难显影干净了，所以宁可稍微过显，也不能显影不足；
4.光刻板放反时也会有条纹出现；
个人感觉光刻胶的参数一般来说，使用合理的话，参数不会变化太大，可能真的是胶过期了，你不妨先试试加长显影时间，如果还是不行的话，可以考虑换胶。
赞一下 回复此楼
由于您的签名过于个性，小木虫暂时无法显示。。。
2楼2014-07-02 22:42:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

simvener

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by spiderman504 at 2014-07-02 22:42:29
1.光刻胶用了多久？可能过期了；
2.温度太高或烘烤时间太长时，有时候就很难显影干净；
3.显影时要不断摇晃拨动片子，有时候你第一遍没显干净，吹干后就很难显影干净了，所以宁可稍微过显，也不能显影不足；
4.光 ...

1，光刻胶有用过一段时间的和最新买的，都试过了；
2，实际上以前温度偏低一点，最近调整了一下，温度合理但还是不行；
3，显影时间足够，一般是在已曝光的光刻胶明显的溶解后再继续显影同样的时间；
4，放反的话条纹就太大了，应该不是这个问题；

曝光时间加倍以后是ok的，虽然加倍以后问题解决了，但是参数突然变化这么大搞不清楚原因，实验的时候还是有点心虚。。。
赞一下 回复此楼
3楼2014-07-03 10:31:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
前烘的时间和温度增加，自然会导致需要的曝光剂量增加。
至于版和片子之间的条纹，有些时候表明片子和版之间的贴合不好，有些时候会导致花边黑边，有些时候会导致曝光不均匀等等。
有可能你以前的曝光剂量就是在光刻胶的下限，当出现外界环境变化，或者设备微小变化后，就导致你的光刻结果不好。而当你提升曝光时间后，回到曝光剂量中值，其他因素的影响就忽略不计了。
最好系统性的重新做一个剂量和分辨率实验。
其实你能曝光出想要的结果就ok了，不用没底，以不影响实验为原则。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2014-07-04 20:14:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

微维11

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
5楼2015-10-19 20:00:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zju2015

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 微维11 at 2015-10-19 20:00:56
请问楼主的问题解决了吗？我最近光刻胶也是老显不干净，前段时间显10S左右就可以，现在各种条件都没变显1分钟或2分钟都显不干净...

会不会是光功率的问题？
赞一下 回复此楼
6楼2016-01-06 20:25:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

微维11

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
7楼2016-01-07 10:16:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

苏州MEMS

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
8楼2016-01-07 12:22:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 simvener 的主题更新
81/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 调剂 +8 熊二想上岸 2026-04-04 8/400 2026-04-05 05:27 by houyaoxu
[考研] 材料调剂 +8 革微桂 2026-04-04 8/400 2026-04-04 23:36 by lqwchd
[考研] 302分求调剂 一志愿安徽大学085601 +4 zyx上岸！ 2026-04-04 4/200 2026-04-04 23:28 by wxiongid
[考研] 325求调剂 +4 春风不借意 2026-04-04 4/200 2026-04-04 22:08 by 啵啵啵0119
[考研] 环境285分，过六级，求调剂 +10 xhr12 2026-04-02 10/500 2026-04-04 21:53 by bn53987
[考研] 298求调剂 +5 zzz，，r 2026-04-02 8/400 2026-04-04 19:55 by 蓝云思雨
[考研] 329求调剂 +13 miaodesi 2026-04-02 15/750 2026-04-04 18:14 by jj987
[考研] 一志愿0817化学工程与技术，求调剂 +24 我不是只因 2026-04-02 28/1400 2026-04-04 15:15 by dongzh2009
[考研] 22408，264求调剂 +3 ywh729 2026-04-03 4/200 2026-04-04 11:04 by ywh729
[考研] 材料295 +13 小英11 2026-04-03 14/700 2026-04-04 09:02 by 来看流星雨10
[考研] 303求调剂 +10 DLkz1314. 2026-03-30 10/500 2026-04-03 18:03 by Jimmyandyou
[考研] 320求调剂 +3 农业工程与信息� 2026-04-03 3/150 2026-04-03 11:40 by 土木硕士招生
[考研] 抱歉 +5 田洪有 2026-03-30 5/250 2026-04-03 10:24 by linyelide
[考研] 初试301，代码085701环境工程，本硕一致，四六级已过，有二区一作，共发表5篇论文 +6 axibli 2026-04-01 6/300 2026-04-02 13:42 by Ecowxq666！
[考研] 07生物学求调剂 一志愿同济大学359分 +3 LAMC. 2026-03-30 3/150 2026-04-02 10:26 by 18828373951
[考研] 070300化学279求调剂 +15 哈哈哈^_^ 2026-03-31 17/850 2026-04-01 21:37 by 给你你注意休息
[考研] 265求调剂 +11 yelck 2026-04-01 12/600 2026-04-01 19:12 by 549790059
[考研] 求0861交通运输专硕or材料专硕调剂 +4 勒布朗@ 2026-03-31 4/200 2026-04-01 09:54 by 一只好果子?
[考研] 材料科学与工程求调剂 +13 深V宿舍吧 2026-03-29 13/650 2026-03-31 19:50 by Dyhoer
[考研] 一志愿浙江大学工科动力工程370,数一121,专业课135，现在能去哪里 +3 080700调剂 2026-03-30 4/200 2026-03-31 12:00 by KLMY666
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭