应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 2英寸硅片光刻显影后出现干涉条纹是为什么
汕头大学海洋科学接受调剂
51/1返回列表
查看: 2371  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

simvener

银虫 (小有名气)

[求助] 2英寸硅片光刻显影后出现干涉条纹是为什么 已有4人参与

2英寸硅片光刻，正胶，曝光，显影，出现干涉条纹，用的是接触式光刻，曝光时硅片和掩膜板之间干涉条纹出现，这以前也有，正常现象，不影响显影，但是最近发现按以往参数显影后光刻胶有些地方显不掉，有些地方显掉了，呈现出曝光时候的干涉条纹状，加大曝光时间，现象减弱，一直加曝光时间到原来的两倍（由3s变为7s）才能完全ok，请问这是怎么回事？还是光刻机原因？光刻胶，烘胶温度，曝光机辐照功率都已经试过，问题依然。
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

实验们

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-07-02 21:35:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

微维11

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
5楼2015-10-19 20:00:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

spiderman504

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
1.光刻胶用了多久？可能过期了；
2.温度太高或烘烤时间太长时，有时候就很难显影干净；
3.显影时要不断摇晃拨动片子，有时候你第一遍没显干净，吹干后就很难显影干净了，所以宁可稍微过显，也不能显影不足；
4.光刻板放反时也会有条纹出现；
个人感觉光刻胶的参数一般来说，使用合理的话，参数不会变化太大，可能真的是胶过期了，你不妨先试试加长显影时间，如果还是不行的话，可以考虑换胶。
赞一下 回复此楼
由于您的签名过于个性，小木虫暂时无法显示。。。
2楼2014-07-02 22:42:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

simvener

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by spiderman504 at 2014-07-02 22:42:29
1.光刻胶用了多久？可能过期了；
2.温度太高或烘烤时间太长时，有时候就很难显影干净；
3.显影时要不断摇晃拨动片子，有时候你第一遍没显干净，吹干后就很难显影干净了，所以宁可稍微过显，也不能显影不足；
4.光 ...

1，光刻胶有用过一段时间的和最新买的，都试过了；
2，实际上以前温度偏低一点，最近调整了一下，温度合理但还是不行；
3，显影时间足够，一般是在已曝光的光刻胶明显的溶解后再继续显影同样的时间；
4，放反的话条纹就太大了，应该不是这个问题；

曝光时间加倍以后是ok的，虽然加倍以后问题解决了，但是参数突然变化这么大搞不清楚原因，实验的时候还是有点心虚。。。
赞一下 回复此楼
3楼2014-07-03 10:31:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
前烘的时间和温度增加，自然会导致需要的曝光剂量增加。
至于版和片子之间的条纹，有些时候表明片子和版之间的贴合不好，有些时候会导致花边黑边，有些时候会导致曝光不均匀等等。
有可能你以前的曝光剂量就是在光刻胶的下限，当出现外界环境变化，或者设备微小变化后，就导致你的光刻结果不好。而当你提升曝光时间后，回到曝光剂量中值，其他因素的影响就忽略不计了。
最好系统性的重新做一个剂量和分辨率实验。
其实你能曝光出想要的结果就ok了，不用没底，以不影响实验为原则。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2014-07-04 20:14:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 化工学硕294分，求导师收留 +32 yzyzx 2026-04-12 36/1800 2026-04-14 17:45 by lhj2009
[考研] 求调剂 +16 雪逢冬 2026-04-10 16/800 2026-04-14 14:27 by 逆水乘风
[考研] 085600材料与化工329分求调剂 +24 叶zilin 2026-04-13 25/1250 2026-04-14 09:20 by 试管破裂
[考研] 机械还有还有名额吗？太难了 +8 笑笑袁 2026-04-10 8/400 2026-04-14 08:44 by screening
[考研] 22专硕求调剂 +8 haoyun上岸 2026-04-11 10/500 2026-04-13 22:15 by zhq0425
[考研] 一志愿2110，化学学硕310分，本科重点双非求调剂 +20 努力奋斗112 2026-04-08 20/1000 2026-04-13 14:24 by 张zhihao
[考研] 一志愿华工085600 331分 +7 天下ww 2026-04-09 7/350 2026-04-13 09:01 by lhj2009
[考研] 求调剂288 +7 ioodiiij 2026-04-10 9/450 2026-04-13 08:33 by Hayaay
[考研] 322求调剂 +6 123安康 2026-04-12 13/650 2026-04-12 15:51 by 123安康
[考研] 0860004 求调剂 309分 +9 Yin DY 2026-04-08 9/450 2026-04-11 22:55 by dongdian1
[考研] 调剂 +6 青灯不负 2026-04-09 6/300 2026-04-11 20:35 by dongdian1
[考研] 调剂求助 +6 果然有我 2026-04-11 7/350 2026-04-11 16:22 by 明月此时有
[考研] 282，求调剂 +12 jggshjkkm 2026-04-09 14/700 2026-04-11 09:39 by 猪会飞
[考研] 342电子信息专硕求调剂 +9 你让我怎么荔枝 2026-04-10 10/500 2026-04-11 08:33 by zhq0425
[考研] 计算机类求调剂，22408-274分 +7 上岸de小虫 2026-04-09 8/400 2026-04-10 19:56 by fxue1114
[考研] 一志愿京区985，085401，与本科专业一致，电子信息工程， +4 阳光开朗的男孩 2026-04-10 4/200 2026-04-10 18:27 by shenrf
[论文投稿] mdpi小修rvr时间四五天了 20+3 哈哈high 2026-04-08 5/250 2026-04-10 16:02 by 北京莱茵润色
[考研] 298求调剂 +13 钉叮咚冬瓜 2026-04-09 13/650 2026-04-10 15:49 by jiajinhpu
[考研] 296求调剂 +6 汪！？！ 2026-04-08 6/300 2026-04-10 11:02 by mattzhming
[考研] 二次调剂求老师收留 +3 笑笑袁 2026-04-08 3/150 2026-04-08 23:50 by 醉在风里
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭