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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 薄膜分析测试办法
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wangstudio

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜分析测试办法 已有4人参与

各位：
  
我们最近有一批样品，是圆柱体，直径9mm，高度10mm，基层是高纯硅。基体的外表面有一层污染膜，颜色比较多，有的是蓝色，有的是红色，有的深棕色。现在想找办法分析一下，关键是想知道这层膜究竟是什么元素组成的？如果能知道结构，那就更好了。从理论上分析，污染膜要么是氧化物，要么是氮化物，膜厚不确定，从已有文献来看，可能是几个微米。
  
请教各位高手，有什么办法可以做到？如果是XRD，这样的样品可以直接测吗？因为我们试过将薄膜刮去，硬度太大，没法操作。在西安，有没有可以做的地方，推荐一下。
  
谢谢！
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1楼 2014-06-30 18:00:27
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盒子

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以试一下XRD,XPS,最后考虑TEM
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wangstudio
差之毫厘，谬以千里。
4楼2014-07-01 15:33:18
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普通回帖

透射电镜制样

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
xrd可能不大好做，可以试一下扫描或者透射
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2楼2014-06-30 22:16:12
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jialujian

新虫 (初入文坛)
硅的清洗有很多方法，你可以试一下传统的硅片清洗方法。能有效的去除表面的氧化膜和各种污染物。。。
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3楼2014-07-01 09:34:47
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soullioner

新虫 (初入文坛)
庆华可以做XRD
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5楼2014-07-01 19:10:28
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wangstudio

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by jialujian at 2014-07-01 09:34:47
硅的清洗有很多方法，你可以试一下传统的硅片清洗方法。能有效的去除表面的氧化膜和各种污染物。。。

这层膜与基体结合非常牢固，我已经试过硝酸和氢氟酸的清洗了，有时可以洗掉，有时不行。我们的客户要求，必须没有这些花花绿绿的东西。清洗只能是被动地解决问题，从根源上讲，还是在前期就避免生成。

非常感谢您的回复。
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6楼2014-07-02 20:14:10
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wangstudio

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by 盒子 at 2014-07-01 15:33:18
可以试一下XRD,XPS,最后考虑TEM

XRD怎么做呢？我了解到的情况是，做XRD时，样品需要为平板状或者粉末状。这个圆柱体可以吗？没有什么特殊制样要求吗？

其实我上周已经做了一次SEM+EDS，图谱显示只有Si、O、C三种元素。但因为EDS对于小于11号的元素检测准确不好，所以我想通过别的方法确认一下。

不知道您怎么看？
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7楼2014-07-02 20:18:15
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盒子

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

XRD可以做的，双面胶粘在载玻片上，或者直接找相关实验的老师；EDS只能进行元素分析，XPS可以价态分析，木虫里有资源很多，你检索下。
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差之毫厘，谬以千里。
8楼2014-07-03 13:17:00
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甲波

新虫 (小有名气)
XRD可以做得，我学生实验就做过类似的

[ 发自小木虫客户端 ]
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9楼2014-07-04 07:38:58
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wu1008

金虫 (著名写手)
我们可以测
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10楼2014-09-21 21:23:16
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