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wangstudio

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜分析测试办法 已有4人参与

各位:
  
我们最近有一批样品,是圆柱体,直径9mm,高度10mm,基层是高纯硅。基体的外表面有一层污染膜,颜色比较多,有的是蓝色,有的是红色,有的深棕色。现在想找办法分析一下,关键是想知道这层膜究竟是什么元素组成的?如果能知道结构,那就更好了。从理论上分析,污染膜要么是氧化物,要么是氮化物,膜厚不确定,从已有文献来看,可能是几个微米。
  
请教各位高手,有什么办法可以做到?如果是XRD,这样的样品可以直接测吗?因为我们试过将薄膜刮去,硬度太大,没法操作。在西安,有没有可以做的地方,推荐一下。
  
谢谢!
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盒子

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可以试一下XRD,XPS,最后考虑TEM

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差之毫厘,谬以千里。
4楼2014-07-01 15:33:18
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透射电镜制样

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
xrd可能不大好做,可以试一下扫描或者透射
2楼2014-06-30 22:16:12
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jialujian

新虫 (初入文坛)

硅的清洗有很多方法,你可以试一下传统的硅片清洗方法。能有效的去除表面的氧化膜和各种污染物。。。
3楼2014-07-01 09:34:47
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wangstudio

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by jialujian at 2014-07-01 09:34:47
硅的清洗有很多方法,你可以试一下传统的硅片清洗方法。能有效的去除表面的氧化膜和各种污染物。。。

这层膜与基体结合非常牢固,我已经试过硝酸和氢氟酸的清洗了,有时可以洗掉,有时不行。我们的客户要求,必须没有这些花花绿绿的东西。清洗只能是被动地解决问题,从根源上讲,还是在前期就避免生成。

非常感谢您的回复。
6楼2014-07-02 20:14:10
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