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wangstudio

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 82.7
帖子: 6
在线: 1.4小时
虫号: 3134646
注册: 2014-04-14
专业: 半导体材料

[求助] 薄膜分析测试办法已有4人参与

各位：

我们最近有一批样品，是圆柱体，直径9mm，高度10mm，基层是高纯硅。基体的外表面有一层污染膜，颜色比较多，有的是蓝色，有的是红色，有的深棕色。现在想找办法分析一下，关键是想知道这层膜究竟是什么元素组成的？如果能知道结构，那就更好了。从理论上分析，污染膜要么是氧化物，要么是氮化物，膜厚不确定，从已有文献来看，可能是几个微米。

请教各位高手，有什么办法可以做到？如果是XRD，这样的样品可以直接测吗？因为我们试过将薄膜刮去，硬度太大，没法操作。在西安，有没有可以做的地方，推荐一下。

谢谢！

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1楼2014-06-30 18:00:27

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jialujian

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 6.5
红花: 1
帖子: 11
在线: 14.7小时
虫号: 2321333
注册: 2013-03-05
专业: 半导体材料

硅的清洗有很多方法，你可以试一下传统的硅片清洗方法。能有效的去除表面的氧化膜和各种污染物。。。

3楼2014-07-01 09:34:47

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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