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pursuing_

新虫 (小有名气)

[求助] 翻译单词问题 已有2人参与

The substrate is hidden in a loadlock, separated from the deposition chamber, until steady-state plasma is reached.
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pursuing_

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Paulwolf at 2014-06-08 11:21:22
substrate 底物,衬底
loadlock 承载室
deposition chamber 沉积室
plasma 等离子

谢谢,忘了说是"loadlock",在等离子沉积中翻译为承载室吗?
3楼2014-06-08 11:34:44
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Paulwolf

荣誉版主 (文坛精英)

非线性控制领域新人一枚

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【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
pursuing_: 金币+2, ★★★很有帮助 2014-06-08 11:33:23
substrate 底物,衬底
loadlock 承载室
deposition chamber 沉积室
plasma 等离子
2楼2014-06-08 11:21:22
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Paulwolf

荣誉版主 (文坛精英)

非线性控制领域新人一枚

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【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by pursuing_ at 2014-06-08 11:34:44
谢谢,忘了说是"loadlock",在等离子沉积中翻译为承载室吗?...

我感觉吧,它的作用其实就是一个托架一样的东西。。衬底放在托架,或者托盘上。。

[ 发自小木虫客户端 ]
4楼2014-06-08 12:09:27
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1043109135

木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
pursuing_: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-06-10 19:19:21
基体被放置在真空交换仓中,与沉积室分离,直到形成稳定状态的等离子体。
5楼2014-06-10 17:48:18
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