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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SOI结构的高温氢气退火
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pigit9999

铁虫 (知名作家)
★
a370910527(金币+1): 谢谢参与
愿楼主心想事成
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51楼2014-05-22 23:01:06
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youdao1

铁虫 (知名作家)
★
a370910527(金币+1): 谢谢参与
Best wishes
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52楼2014-05-22 23:02:08
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coco729

铁虫 (知名作家)
★
a370910527(金币+1): 谢谢参与
Best wishes
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53楼2014-05-22 23:02:11
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xiaoamuchong

专家顾问 (职业作家)
★
a370910527(金币+1): 谢谢参与
O(∩_∩)O加油~。
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54楼2014-05-22 23:03:04
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yuyanpiaoxue

金虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
想问楼主做氢退火的仿真吗？
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57楼2014-06-06 11:10:10
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shuitong110

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 我的芝麻 at 2014-05-22 10:29:09
我知道太原理工可以做，不过最近好像坏了。就是不知道人家让不让你用

太搞笑了
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58楼2014-06-10 21:53:44
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ydp40840309

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
同行啊，我也做SOI

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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59楼2014-07-14 14:12:42
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小雨南

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
嗯~~光波导结构不太懂~~~不知道可不可以用化学腐蚀法？  NH4F缓和溶液中~~si（111）的话可以做到原子平坦度的表面~~不知道SOI可以不~~~
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我的芝麻
60楼2014-07-14 16:19:35
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a370910527

木虫 (正式写手)
引用回帖:
60楼: Originally posted by 小雨南 at 2014-07-14 16:19:35
嗯~~光波导结构不太懂~~~不知道可不可以用化学腐蚀法？  NH4F缓和溶液中~~si（111）的话可以做到原子平坦度的表面~~不知道SOI可以不~~~

你说的方法类似于热氧化，退火炉氧化后BOE腐蚀顶层硅产生的sio2可以达到效果，不过不是太好，所以我想试试氢退火。谢谢啦
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61楼2014-07-14 16:43:02
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a370910527

木虫 (正式写手)
引用回帖:
59楼: Originally posted by ydp40840309 at 2014-07-14 14:12:42
同行啊，我也做SOI

哪方面？
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62楼2014-07-14 16:43:14
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a370910527

木虫 (正式写手)
引用回帖:
57楼: Originally posted by yuyanpiaoxue at 2014-06-06 11:10:10
想问楼主做氢退火的仿真吗？

没有诶，还在调研阶段
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63楼2014-07-14 16:44:29
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12012001346

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
做SOI材料的改性时，我也发现了，用一般退火时，表面粗糙度会变大很多。用你说的方法可以解决么？
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64楼2014-07-15 20:46:02
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a370910527

木虫 (正式写手)
引用回帖:
64楼: Originally posted by 12012001346 at 2014-07-15 20:46:02
做SOI材料的改性时，我也发现了，用一般退火时，表面粗糙度会变大很多。用你说的方法可以解决么？

目前还不知道，试了以后才知道。不过国外报导是很好的。
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65楼2014-07-15 20:50:05
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12012001346

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
65楼: Originally posted by a370910527 at 2014-07-15 20:50:05
目前还不知道，试了以后才知道。不过国外报导是很好的。...

恩，我原来是在氮气下退火100-1100度的，退前AFM中的SRM是0.8 nm退后反而大了，成了2.3 nm左右，有氢气的太危险，老板不给做的。。。
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66楼2014-07-15 20:57:15
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a370910527

木虫 (正式写手)
引用回帖:
66楼: Originally posted by 12012001346 at 2014-07-15 20:57:15
恩，我原来是在氮气下退火100-1100度的，退前AFM中的SRM是0.8 nm退后反而大了，成了2.3 nm左右，有氢气的太危险，老板不给做的。。。...

敢问你是哪里的？  你考虑到了很关键的问题，因为这个国内基本上没有人做。
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67楼2014-07-15 21:03:01
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12012001346

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
67楼: Originally posted by a370910527 at 2014-07-15 21:03:01
敢问你是哪里的？  你考虑到了很关键的问题，因为这个国内基本上没有人做。...

云南大学
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68楼2014-07-15 22:13:27
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a370910527

木虫 (正式写手)
引用回帖:
68楼: Originally posted by 12012001346 at 2014-07-15 22:13:27
云南大学...

你们学校有氢退火的设备吗？   氮气退我们这也有，效果确实不是很好，并且AFM测量的随机性很大，误差不容小视。
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69楼2014-07-16 08:55:41
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12012001346

铜虫 (小有名气)
★
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引用回帖:
69楼: Originally posted by a370910527 at 2014-07-16 08:55:41
你们学校有氢退火的设备吗？   氮气退我们这也有，效果确实不是很好，并且AFM测量的随机性很大，误差不容小视。...

木有，太危险，不敢搞呀
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70楼2014-07-16 10:17:25
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a370910527

木虫 (正式写手)
引用回帖:
70楼: Originally posted by 12012001346 at 2014-07-16 10:17:25
木有，太危险，不敢搞呀...

是很危险，但理论上这个方法效果比较好。可能上海那边有这样的设备，但技术保密。你还有其他方法可以降低粗糙度么？
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71楼2014-07-16 10:38:06
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12012001346

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
71楼: Originally posted by a370910527 at 2014-07-16 10:38:06
是很危险，但理论上这个方法效果比较好。可能上海那边有这样的设备，但技术保密。你还有其他方法可以降低粗糙度么？...

飞秒激光？或者外延一层？
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72楼2014-07-16 10:46:45
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a370910527

木虫 (正式写手)
引用回帖:
72楼: Originally posted by 12012001346 at 2014-07-16 10:46:45
飞秒激光？或者外延一层？...

激光熔融也是一种方法，好像成本有点高了，老板不让...
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73楼2014-07-16 11:16:26
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我的芝麻

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
送红花一朵
引用回帖:
60楼: Originally posted by 小雨南 at 2014-07-14 16:19:35
嗯~~光波导结构不太懂~~~不知道可不可以用化学腐蚀法？  NH4F缓和溶液中~~si（111）的话可以做到原子平坦度的表面~~不知道SOI可以不~~~

楼主你好好看看这一层（60楼）的回复，整个帖子看下来，感觉只有这一层还靠谱点。楼主你回头好好查阅一下相关资料，说不定也是个方法？
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74楼2014-10-23 09:13:27
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a370910527

木虫 (正式写手)
引用回帖:
60楼: Originally posted by 小雨南 at 2014-07-14 16:19:35
嗯~~光波导结构不太懂~~~不知道可不可以用化学腐蚀法？  NH4F缓和溶液中~~si（111）的话可以做到原子平坦度的表面~~不知道SOI可以不~~~

我也在寻求这种方法，不过腐蚀出来的是梯形，不太符合我的要求。
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75楼2014-10-23 12:20:34
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小雨南

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
75楼: Originally posted by a370910527 at 2014-10-23 13:20:34
我也在寻求这种方法，不过腐蚀出来的是梯形，不太符合我的要求。...

嗯嗯~~Si111面的话~~拿阶梯好像真的没什么办法呢~~
不过话说你你用的是哪个面~~~？别的面没有阶梯的结构诶~~
我做的Si100面，AFM测的RMS值是0.2nm左右（1μm*1μm的范围）~~~
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76楼2014-10-24 08:30:31
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a370910527

木虫 (正式写手)
引用回帖:
76楼: Originally posted by 小雨南 at 2014-10-24 08:30:31
嗯嗯~~Si111面的话~~拿阶梯好像真的没什么办法呢~~
不过话说你你用的是哪个面~~~？别的面没有阶梯的结构诶~~
我做的Si100面，AFM测的RMS值是0.2nm左右（1μm*1μm的范围）~~~...

这就是我要做的结构，你看我用SOI片能做么？

我只用最上面的硅层做结构。
SOI结构的高温氢气退火
1.png


SOI结构的高温氢气退火-1
2.png
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77楼2014-10-24 08:53:21
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小雨南

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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77楼: Originally posted by a370910527 at 2014-10-24 09:53:21
这就是我要做的结构，你看我用SOI片能做么？

我只用最上面的硅层做结构。

1.png

2.png
...

不清楚诶~~


但是化学法的确会腐蚀一部分，不知道会不会对你的结构造成影响~~~
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78楼2014-10-27 09:57:01
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gaosong08

铜虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
不知道LZ解决了吗？可以从气体和设备成套自己设计来解决。

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79楼2019-04-24 09:12:45
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简单回复
zhangwei1955楼
2014-05-22 23:09   回复  
a370910527(金币+1): 谢谢参与
kinple56楼
2014-05-22 23:22   回复  
a370910527(金币+1): 谢谢参与
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