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a370910527

木虫 (正式写手)


[交流] SOI结构的高温氢气退火

我做的是基于 SOI 的光波导结构,想利用高温氢气退火来降低波导表面粗糙度。请问大家是否知道国内哪里可以做1100°左右的氢退火工艺?
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a370910527

木虫 (正式写手)


引用回帖:
60楼: Originally posted by 小雨南 at 2014-07-14 16:19:35
嗯~~光波导结构不太懂~~~不知道可不可以用化学腐蚀法?  NH4F缓和溶液中~~si(111)的话可以做到原子平坦度的表面~~不知道SOI可以不~~~

我也在寻求这种方法,不过腐蚀出来的是梯形,不太符合我的要求。
75楼2014-10-23 12:20:34
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我的芝麻

木虫 (小有名气)


★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
a370910527: 金币+10 2014-05-22 16:03:28
我知道太原理工可以做,不过最近好像坏了。就是不知道人家让不让你用

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2014-05-22 10:29:09
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a370910527

木虫 (正式写手)


求助万能的虫友...
4楼2014-05-22 16:03:57
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a370910527

木虫 (正式写手)


答案呢? 相当于散金么...   感觉不会再爱了...   求助万能的虫友
11楼2014-05-22 21:25:54
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