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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SOI结构的高温氢气退火
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a370910527

木虫 (正式写手)

[交流] SOI结构的高温氢气退火

我做的是基于 SOI 的光波导结构，想利用高温氢气退火来降低波导表面粗糙度。请问大家是否知道国内哪里可以做1100°左右的氢退火工艺？
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1楼 2014-05-22 09:03:34
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小雨南

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
嗯~~光波导结构不太懂~~~不知道可不可以用化学腐蚀法？  NH4F缓和溶液中~~si（111）的话可以做到原子平坦度的表面~~不知道SOI可以不~~~
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我的芝麻
60楼2014-07-14 16:19:35
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我的芝麻

木虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
a370910527: 金币+10 2014-05-22 16:03:28
我知道太原理工可以做，不过最近好像坏了。就是不知道人家让不让你用

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3楼2014-05-22 10:29:09
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shuitong110

银虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
a370910527: 金币+10, 累觉不爱 2014-05-22 21:44:11
哈哈哈  我来顶一个
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19楼2014-05-22 21:42:45
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普通回帖

mlanqiang

木虫之王 (文学泰斗)
★
a370910527: 金币+1 2014-05-22 10:21:23
blessing
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2楼2014-05-22 09:43:44
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a370910527

木虫 (正式写手)
求助万能的虫友...
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4楼2014-05-22 16:03:57
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a370910527

木虫 (正式写手)
答案呢？ 相当于散金么...   感觉不会再爱了...   求助万能的虫友
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11楼2014-05-22 21:25:54
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青一

铁杆木虫 (职业作家)
★ ★ ★ ★ ★ ★
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a370910527: 金币+5 2014-05-22 21:29:04
祝福，帮顶
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12楼2014-05-22 21:27:47
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880110sj

金虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★
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a370910527: 金币+5 2014-05-22 21:40:08
不了解哦，帮顶下
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13楼2014-05-22 21:36:17
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a370910527

木虫 (正式写手)
引用回帖:
13楼: Originally posted by 880110sj at 2014-05-22 21:36:17
不了解哦，帮顶下

谢谢啦
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17楼2014-05-22 21:40:22
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朱雪刚521

铁杆木虫 (知名作家)
★ ★ ★ ★ ★ ★
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a370910527: 金币+5, 谢谢 2014-05-22 22:38:07
祝福;祝事事顺利，天天开心
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36楼2014-05-22 22:24:48
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kyhk07225楼
2014-05-22 21:00   回复  
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kiss200855376楼
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