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SOI结构的高温氢气退火
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| 我做的是基于 SOI 的光波导结构，想利用高温氢气退火来降低波导表面粗糙度。请问大家是否知道国内哪里可以做1100°左右的氢退火工艺？ |
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nono20097楼
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syhorchid10楼
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