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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SOI结构的高温氢气退火
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a370910527

木虫 (正式写手)

[交流] SOI结构的高温氢气退火

我做的是基于 SOI 的光波导结构，想利用高温氢气退火来降低波导表面粗糙度。请问大家是否知道国内哪里可以做1100°左右的氢退火工艺？
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1楼 2014-05-22 09:03:34
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12012001346

铜虫 (小有名气)
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做SOI材料的改性时，我也发现了，用一般退火时，表面粗糙度会变大很多。用你说的方法可以解决么？
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64楼2014-07-15 20:46:02
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12012001346

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65楼: Originally posted by a370910527 at 2014-07-15 20:50:05
目前还不知道，试了以后才知道。不过国外报导是很好的。...

恩，我原来是在氮气下退火100-1100度的，退前AFM中的SRM是0.8 nm退后反而大了，成了2.3 nm左右，有氢气的太危险，老板不给做的。。。
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66楼2014-07-15 20:57:15
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12012001346

铜虫 (小有名气)
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67楼: Originally posted by a370910527 at 2014-07-15 21:03:01
敢问你是哪里的？  你考虑到了很关键的问题，因为这个国内基本上没有人做。...

云南大学
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68楼2014-07-15 22:13:27
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69楼: Originally posted by a370910527 at 2014-07-16 08:55:41
你们学校有氢退火的设备吗？   氮气退我们这也有，效果确实不是很好，并且AFM测量的随机性很大，误差不容小视。...

木有，太危险，不敢搞呀
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70楼2014-07-16 10:17:25
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12012001346

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71楼: Originally posted by a370910527 at 2014-07-16 10:38:06
是很危险，但理论上这个方法效果比较好。可能上海那边有这样的设备，但技术保密。你还有其他方法可以降低粗糙度么？...

飞秒激光？或者外延一层？
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72楼2014-07-16 10:46:45
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