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SOI结构的高温氢气退火
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a370910527
木虫
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虫号: 2854226
[交流]
SOI结构的高温氢气退火
我做的是基于 SOI 的光波导结构,想利用高温氢气退火来降低波导表面粗糙度。请问大家是否知道国内哪里可以做1100°左右的氢退火工艺?
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2014-05-22 09:03:34
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12012001346
铜虫
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★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
71楼
:
Originally posted by
a370910527
at 2014-07-16 10:38:06
是很危险,但理论上这个方法效果比较好。可能上海那边有这样的设备,但技术保密。你还有其他方法可以降低粗糙度么?...
飞秒激光?或者外延一层?
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72楼
2014-07-16 10:46:45
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我的芝麻
木虫
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虫号: 2064195
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
a370910527: 金币+10
2014-05-22 16:03:28
我知道太原理工可以做,不过最近好像坏了。就是不知道人家让不让你用
[ 发自小木虫客户端 ]
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3楼
2014-05-22 10:29:09
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a370910527
木虫
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求助万能的虫友...
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4楼
2014-05-22 16:03:57
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a370910527
木虫
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(幼儿园)
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虫号: 2854226
答案呢? 相当于散金么... 感觉不会再爱了... 求助万能的虫友
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11楼
2014-05-22 21:25:54
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