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SOI结构的高温氢气退火
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a370910527
木虫
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虫号: 2854226
[交流]
SOI结构的高温氢气退火
我做的是基于 SOI 的光波导结构,想利用高温氢气退火来降低波导表面粗糙度。请问大家是否知道国内哪里可以做1100°左右的氢退火工艺?
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2014-05-22 09:03:34
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12012001346
铜虫
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虫号: 2182154
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
65楼
:
Originally posted by
a370910527
at 2014-07-15 20:50:05
目前还不知道,试了以后才知道。不过国外报导是很好的。...
恩,我原来是在氮气下退火100-1100度的,退前AFM中的SRM是0.8 nm退后反而大了,成了2.3 nm左右,有氢气的太危险,老板不给做的。。。
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66楼
2014-07-15 20:57:15
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我的芝麻
木虫
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★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
a370910527: 金币+10
2014-05-22 16:03:28
我知道太原理工可以做,不过最近好像坏了。就是不知道人家让不让你用
[ 发自小木虫客户端 ]
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3楼
2014-05-22 10:29:09
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a370910527
木虫
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求助万能的虫友...
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4楼
2014-05-22 16:03:57
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a370910527
木虫
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虫号: 2854226
答案呢? 相当于散金么... 感觉不会再爱了... 求助万能的虫友
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11楼
2014-05-22 21:25:54
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