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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SOI结构的高温氢气退火
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a370910527

木虫 (正式写手)

[交流] SOI结构的高温氢气退火

我做的是基于 SOI 的光波导结构，想利用高温氢气退火来降低波导表面粗糙度。请问大家是否知道国内哪里可以做1100°左右的氢退火工艺？
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1楼2014-05-22 09:03:34
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a370910527

木虫 (正式写手)
引用回帖:
60楼: Originally posted by 小雨南 at 2014-07-14 16:19:35
嗯~~光波导结构不太懂~~~不知道可不可以用化学腐蚀法？  NH4F缓和溶液中~~si（111）的话可以做到原子平坦度的表面~~不知道SOI可以不~~~

你说的方法类似于热氧化，退火炉氧化后BOE腐蚀顶层硅产生的sio2可以达到效果，不过不是太好，所以我想试试氢退火。谢谢啦
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61楼2014-07-14 16:43:02
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我的芝麻

木虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
a370910527: 金币+10 2014-05-22 16:03:28
我知道太原理工可以做，不过最近好像坏了。就是不知道人家让不让你用

[ 发自小木虫客户端 ]
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3楼2014-05-22 10:29:09
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a370910527

木虫 (正式写手)
求助万能的虫友...
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4楼2014-05-22 16:03:57
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a370910527

木虫 (正式写手)
答案呢？ 相当于散金么...   感觉不会再爱了...   求助万能的虫友
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11楼2014-05-22 21:25:54
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