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a370910527

木虫 (正式写手)

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[交流] SOI结构的高温氢气退火

我做的是基于 SOI 的光波导结构，想利用高温氢气退火来降低波导表面粗糙度。请问大家是否知道国内哪里可以做1100°左右的氢退火工艺？

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1楼 2014-05-22 09:03:34

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a370910527

木虫 (正式写手)

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引用回帖:

76楼: Originally posted by 小雨南 at 2014-10-24 08:30:31
嗯嗯~~Si111面的话~~拿阶梯好像真的没什么办法呢~~
不过话说你你用的是哪个面~~~？别的面没有阶梯的结构诶~~
我做的Si100面，AFM测的RMS值是0.2nm左右（1μm*1μm的范围）~~~...

这就是我要做的结构，你看我用SOI片能做么？

我只用最上面的硅层做结构。