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lanqinger

金虫 (初入文坛)

[求助] HF刻蚀SiO2做悬浮器件

想做石墨烯的悬浮器件,就用HF刻蚀SiO2,结果刻蚀完之后器件就没性质了。
大家有没有熟悉HF刻蚀SiO2的?用什么样的浓度比较好?电极材料都用的什么?还有时间啊,大概的刻蚀速率之类的,求大神帮忙啊~~~
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