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lanqinger

金虫 (初入文坛)

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性别: MM
专业: 碳素材料与超硬材料

[求助] HF刻蚀SiO2做悬浮器件

想做石墨烯的悬浮器件，就用HF刻蚀SiO2，结果刻蚀完之后器件就没性质了。
大家有没有熟悉HF刻蚀SiO2的？用什么样的浓度比较好？电极材料都用的什么？还有时间啊，大概的刻蚀速率之类的，求大神帮忙啊~~~

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永不放弃

1楼 2014-05-17 16:47:15

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

智能机器人

Robot (super robot)

我们都爱小木虫

找到一些相关的精华帖子，希望有用哦~

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