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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 计算模拟区 » 仿真模拟 » ANSYS & ABAQUS » 请教光刻掩模瞬态热分析问题
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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chs724

新虫 (初入文坛)

[求助] 请教光刻掩模瞬态热分析问题 已有2人参与

小弟现从事X射线光刻方向研究，遇到了关于掩模在同步辐射光照射下的瞬态热分析问题。

现有一有效面积为直径83mm的圆形掩模，在垂直带宽为8mm的光束以20mm/sec的速度扫描照射下，使用ANSYS对整个掩模进行瞬态热分析，应该如何进行？

模型描述：掩模受照射的面积为直径83mm的圆形，扫描开始时光束以200mm/sec^2的加速度开始从距离掩模2mm的位置起步，前沿到达掩模后转为20mm/sec的匀速通过照射区域，当后端离开时以200mm/sec^2的减速度减速，停止后重新开始反向加速，重复之前的过程。

目前的思路是: 1. 使用Matlab求出在给定时间步长下的光带端点坐标，建立以时间为参考的坐标系统来描述变化的受照射区域；2. 将得到的实时面积代入ANSYS中，使用APDL来施加变化的移动热载荷于掩模上，热载荷类型为内部生热；3. 进行瞬态热分析，以第1步Matlab中的时间步长为基准。

发现难点是这个移动热载荷不只有位移，同时还有面积的变化，请教各位高人应当如何处理？多谢赐教

请教光刻掩模瞬态热分析问题
Model1.jpg


请教光刻掩模瞬态热分析问题-1
3.jpg


请教光刻掩模瞬态热分析问题-2
2.jpg
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1楼 2014-05-14 03:42:47
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imnick

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
chs724: 金币+1, ★有帮助 2014-05-14 10:40:41
编写命令流，在不同时间的不同区域施加载荷，联系看看移动电源焊接方面的例子。实现空间位置加载就好啦。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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努力，思考，总结，记录
2楼2014-05-14 08:02:16
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chs724

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by imnick at 2014-05-13 18:02:16
编写命令流，在不同时间的不同区域施加载荷，联系看看移动电源焊接方面的例子。实现空间位置加载就好啦。

电焊方面的仿真问题我看过一些，但是其中的移动热源没有面积形状的变化。
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3楼2014-05-14 10:37:51
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chs724

新虫 (初入文坛)
之前美国LSU有同样问题的研究文章，是用Fluent做出的仿真，我现在使用workbench的transient thermal分析，如何与fluent进行内部耦合？
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4楼2014-05-14 13:13:44
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imnick

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
chs724: 金币+1, ★有帮助 2014-05-15 00:51:24
引用回帖:
4楼: Originally posted by chs724 at 2014-05-14 13:13:44
之前美国LSU有同样问题的研究文章，是用Fluent做出的仿真，我现在使用workbench的transient thermal分析，如何与fluent进行内部耦合？

fluent直接就能做热分析啊。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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努力，思考，总结，记录
5楼2014-05-14 23:38:37
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默馨若水

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

想问下楼主如何在matlab和ansys之间进行调用的呢~
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6楼2015-06-29 17:07:25
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Kingchan01

新虫 (正式写手)
请问楼主做X射线光刻可以刻出高2微米宽100 nm的SU-8细条么？

发自小木虫Android客户端
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7楼2019-12-22 20:29:06
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pl915

禁虫
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8楼2020-01-02 10:00:01
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pl970

禁虫
本帖内容被屏蔽
9楼2020-01-03 11:27:47
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pl852

禁虫
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10楼2020-01-04 15:13:25
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