应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 计算模拟区 » 仿真模拟 » ANSYS & ABAQUS » 请教光刻掩模瞬态热分析问题
121/2返回列表12下一页
查看: 1661  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

chs724

新虫 (初入文坛)

[求助] 请教光刻掩模瞬态热分析问题 已有2人参与

小弟现从事X射线光刻方向研究，遇到了关于掩模在同步辐射光照射下的瞬态热分析问题。

现有一有效面积为直径83mm的圆形掩模，在垂直带宽为8mm的光束以20mm/sec的速度扫描照射下，使用ANSYS对整个掩模进行瞬态热分析，应该如何进行？

模型描述：掩模受照射的面积为直径83mm的圆形，扫描开始时光束以200mm/sec^2的加速度开始从距离掩模2mm的位置起步，前沿到达掩模后转为20mm/sec的匀速通过照射区域，当后端离开时以200mm/sec^2的减速度减速，停止后重新开始反向加速，重复之前的过程。

目前的思路是: 1. 使用Matlab求出在给定时间步长下的光带端点坐标，建立以时间为参考的坐标系统来描述变化的受照射区域；2. 将得到的实时面积代入ANSYS中，使用APDL来施加变化的移动热载荷于掩模上，热载荷类型为内部生热；3. 进行瞬态热分析，以第1步Matlab中的时间步长为基准。

发现难点是这个移动热载荷不只有位移，同时还有面积的变化，请教各位高人应当如何处理？多谢赐教

请教光刻掩模瞬态热分析问题
Model1.jpg


请教光刻掩模瞬态热分析问题-1
3.jpg


请教光刻掩模瞬态热分析问题-2
2.jpg
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-05-14 03:42:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

imnick

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
chs724: 金币+1, ★有帮助 2014-05-14 10:40:41
编写命令流，在不同时间的不同区域施加载荷，联系看看移动电源焊接方面的例子。实现空间位置加载就好啦。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
努力，思考，总结，记录
2楼2014-05-14 08:02:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chs724

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by imnick at 2014-05-13 18:02:16
编写命令流，在不同时间的不同区域施加载荷，联系看看移动电源焊接方面的例子。实现空间位置加载就好啦。

电焊方面的仿真问题我看过一些，但是其中的移动热源没有面积形状的变化。
赞一下 回复此楼
3楼2014-05-14 10:37:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chs724

新虫 (初入文坛)
之前美国LSU有同样问题的研究文章，是用Fluent做出的仿真，我现在使用workbench的transient thermal分析，如何与fluent进行内部耦合？
赞一下 回复此楼
4楼2014-05-14 13:13:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

imnick

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
chs724: 金币+1, ★有帮助 2014-05-15 00:51:24
引用回帖:
4楼: Originally posted by chs724 at 2014-05-14 13:13:44
之前美国LSU有同样问题的研究文章，是用Fluent做出的仿真，我现在使用workbench的transient thermal分析，如何与fluent进行内部耦合？

fluent直接就能做热分析啊。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
努力，思考，总结，记录
5楼2014-05-14 23:38:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

默馨若水

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

想问下楼主如何在matlab和ansys之间进行调用的呢~
赞一下 回复此楼
6楼2015-06-29 17:07:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Kingchan01

新虫 (正式写手)
请问楼主做X射线光刻可以刻出高2微米宽100 nm的SU-8细条么？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
7楼2019-12-22 20:29:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

pl915

禁虫
本帖内容被屏蔽
8楼2020-01-02 10:00:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

pl970

禁虫
本帖内容被屏蔽
9楼2020-01-03 11:27:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

pl852

禁虫
本帖内容被屏蔽
10楼2020-01-04 15:13:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 chs724 的主题更新
121/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 cHIDTWCTtLlG 2026-08-19 3/150 2026-08-19 15:28 by rHxJfXUaiknj
[基金申请] filecode，4个jtjc了 +8 ziyangfang 2026-08-19 9/450 2026-08-19 13:08 by blacksandy
[基金申请] 今天基金会出结果吗？20260819 +8 kkkl_v 2026-08-19 8/400 2026-08-19 12:34 by Vivilian
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +52 医学老男孩 2026-08-13 115/5750 2026-08-19 12:09 by 医学老男孩
[基金申请] 2027广东省杰青 +4 奶牛小黑 2026-08-15 10/500 2026-08-19 11:02 by wanfengnew
[基金申请] 时间戳变了，能看出什么问题？ +10 基诺咪客 2026-08-17 14/700 2026-08-19 10:34 by 基诺咪客
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +8 启萌科技 2026-08-12 30/1500 2026-08-19 10:22 by 启萌科技
[基金申请] 快农历七夕节了，轻松一下，男人悄悄话，女施主请不要进来。 +6 Tide man 2026-08-14 7/350 2026-08-19 09:56 by ZJTJZ
[基金申请] 什么时候开奖？ +6 CrisMessi 2026-08-18 6/300 2026-08-19 08:06 by Equinoxhua
[教师之家] 为什么余额宝的年化利率越来越低？主要原因有哪些？ +3 瞬息宇宙 2026-08-15 3/150 2026-08-18 21:40 by xiaohuixin
[基金申请] 明天放榜？ +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[论文投稿] 投稿咨询 +4 wwm09 2026-08-17 6/300 2026-08-18 15:36 by wwm09
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜？ +13 Ldrop2023 2026-08-13 16/800 2026-08-18 12:25 by 淀粉搬运工
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +4 且听虎啸 2026-08-17 5/250 2026-08-18 00:49 by 蔡棒棒菂
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +6 angus9576 2026-08-17 11/550 2026-08-17 23:57 by angus9576
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +8 wangze12014 2026-08-14 10/500 2026-08-17 17:05 by xter9665
[基金申请] 今天系统多次维护，明天很可能放榜！ +8 zju2000 2026-08-16 9/450 2026-08-17 12:20 by lmz0216
[精细化工] 招聘 金属平磨液，抛光液研发工程师 +3 小天0311 2026-08-14 3/150 2026-08-16 07:31 by H9PLUS
[基金申请] 各位道友，我要去昆明玩几天，回来见。 +7 Tide man 2026-08-14 8/400 2026-08-15 01:11 by arzu_hma
[基金申请] Filecode 又变了，巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭