应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 计算模拟区 » 仿真模拟 » ANSYS & ABAQUS » 请教光刻掩模瞬态热分析问题
51/1返回列表
查看: 1342  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

chs724

新虫 (初入文坛)

[求助] 请教光刻掩模瞬态热分析问题 已有2人参与

小弟现从事X射线光刻方向研究，遇到了关于掩模在同步辐射光照射下的瞬态热分析问题。

现有一有效面积为直径83mm的圆形掩模，在垂直带宽为8mm的光束以20mm/sec的速度扫描照射下，使用ANSYS对整个掩模进行瞬态热分析，应该如何进行？

模型描述：掩模受照射的面积为直径83mm的圆形，扫描开始时光束以200mm/sec^2的加速度开始从距离掩模2mm的位置起步，前沿到达掩模后转为20mm/sec的匀速通过照射区域，当后端离开时以200mm/sec^2的减速度减速，停止后重新开始反向加速，重复之前的过程。

目前的思路是: 1. 使用Matlab求出在给定时间步长下的光带端点坐标，建立以时间为参考的坐标系统来描述变化的受照射区域；2. 将得到的实时面积代入ANSYS中，使用APDL来施加变化的移动热载荷于掩模上，热载荷类型为内部生热；3. 进行瞬态热分析，以第1步Matlab中的时间步长为基准。

发现难点是这个移动热载荷不只有位移，同时还有面积的变化，请教各位高人应当如何处理？多谢赐教

请教光刻掩模瞬态热分析问题
Model1.jpg


请教光刻掩模瞬态热分析问题-1
3.jpg


请教光刻掩模瞬态热分析问题-2
2.jpg
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-05-14 03:42:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chs724

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by imnick at 2014-05-13 18:02:16
编写命令流，在不同时间的不同区域施加载荷，联系看看移动电源焊接方面的例子。实现空间位置加载就好啦。

电焊方面的仿真问题我看过一些，但是其中的移动热源没有面积形状的变化。
赞一下 回复此楼
3楼2014-05-14 10:37:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

imnick

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
chs724: 金币+1, ★有帮助 2014-05-14 10:40:41
编写命令流，在不同时间的不同区域施加载荷，联系看看移动电源焊接方面的例子。实现空间位置加载就好啦。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
努力，思考，总结，记录
2楼2014-05-14 08:02:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chs724

新虫 (初入文坛)
之前美国LSU有同样问题的研究文章，是用Fluent做出的仿真，我现在使用workbench的transient thermal分析，如何与fluent进行内部耦合？
赞一下 回复此楼
4楼2014-05-14 13:13:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

imnick

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
chs724: 金币+1, ★有帮助 2014-05-15 00:51:24
引用回帖:
4楼: Originally posted by chs724 at 2014-05-14 13:13:44
之前美国LSU有同样问题的研究文章，是用Fluent做出的仿真，我现在使用workbench的transient thermal分析，如何与fluent进行内部耦合？

fluent直接就能做热分析啊。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
努力，思考，总结，记录
5楼2014-05-14 23:38:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 求调剂，一志愿:南京航空航天大学大学 ，080500材料科学与工程学硕，总分289分 +3 @taotao 2026-03-19 3/150 2026-03-19 14:07 by peike
[考研] 0703化学调剂 +5 pupcoco 2026-03-17 8/400 2026-03-19 13:58 by houyaoxu
[考研] 一志愿福大288有机化学，求调剂 +3 小木虫200408204 2026-03-18 3/150 2026-03-19 13:31 by houyaoxu
[考研] 一志愿中海洋材料工程专硕330分求调剂 +7 小材化本科 2026-03-18 7/350 2026-03-19 10:46 by Linda Hu
[考研] 274求调剂 +6 S.H1 2026-03-18 6/300 2026-03-19 09:34 by 花店相见
[考研] 材料与化工一志愿南昌大学327求调剂推荐 +8 Ncdx123456 2026-03-13 9/450 2026-03-18 14:40 by haxia
[考研] 298-一志愿中国农业大学-求调剂 +7 手机用户 2026-03-17 7/350 2026-03-18 14:34 by vgtyfty
[考研] 288求调剂，一志愿华南理工大学071005 +4 ioodiiij 2026-03-17 4/200 2026-03-18 12:36 by Linda Hu
[考研] 296求调剂 +5 大口吃饭 身体健 2026-03-13 5/250 2026-03-17 21:05 by 不惑可乐
[考研] 277调剂 +5 自由煎饼果子 2026-03-16 6/300 2026-03-17 19:26 by 李leezz
[考研] 290求调剂 +3 p asserby. 2026-03-15 4/200 2026-03-17 16:35 by wangkm
[考研] 274求调剂 +5 时间点 2026-03-13 5/250 2026-03-17 07:34 by 热情沙漠
[考研] 东南大学364求调剂 +5 JasonYuiui 2026-03-15 5/250 2026-03-16 21:28 by 木瓜膏
[考研] 0703一志愿211 285分求调剂 +5 ly3471z 2026-03-13 5/250 2026-03-16 16:16 by 哦哦123
[考研] 070303 总分349求调剂 +3 LJY9966 2026-03-15 5/250 2026-03-16 14:24 by xwxstudy
[考研] 085601材料工程315分求调剂 +3 yang_0104 2026-03-15 3/150 2026-03-15 10:58 by peike
[考研] 材料与化工 323 英一+数二+物化，一志愿：哈工大 本人本科双一流 +4 自由的_飞翔 2026-03-13 5/250 2026-03-14 19:39 by hmn_wj
[考研] 290求调剂 +3 ADT 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:19 by peike
[考博] 福州大学杨黄浩课题组招收2026年专业学位博士研究生，2026.03.20截止 +3 Xiangyu_ou 2026-03-12 3/150 2026-03-13 09:36 by duanwu655
[考研] 333求调剂 +3 152697 2026-03-12 4/200 2026-03-13 07:08 by Iveryant
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭