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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » czts溅射镀膜
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ghf4664812

铜虫 (小有名气)

[求助] czts溅射镀膜已有1人参与

采用溅射法镀膜，分别采用cu，sn，zn。三个靶，为什么zn溅不上去，而且锌靶的表面被氧化，采用射频镀的zn，功率40w，而且很难起辉。
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1楼2014-04-15 21:06:35
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ghf4664812

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by jfgood at 2014-04-17 08:49:13
Zn靶，建议不要用这个，对真空污染非常严重，就算能起弧，等时间久了，你就会发现这个东西不断的析出粉末，然后真空里到处都是，大量的存在。之前我上课老师告诉我，不要在真空里单独用Zn靶，后来做实验的时候忘记了 ...

zn真的好难搞，蒸发也遇到这个情况，我溅射后整个表明都是一层黑的
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3楼2014-04-17 19:06:51
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jfgood

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
穿越千年: 欢迎来本版交流 2014-04-17 13:02:36
ghf4664812: 金币+5 2014-04-18 08:11:20
Zn靶，建议不要用这个，对真空污染非常严重，就算能起弧，等时间久了，你就会发现这个东西不断的析出粉末，然后真空里到处都是，大量的存在。之前我上课老师告诉我，不要在真空里单独用Zn靶，后来做实验的时候忘记了。现在后悔死，后来把真空的每个部件都卸了重装整整画了两天的时间才清理干净
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2楼2014-04-17 08:49:13
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