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ghf4664812

铜虫 (小有名气)

[求助] czts溅射镀膜 已有1人参与

采用溅射法镀膜,分别采用cu,sn,zn。三个靶,为什么zn溅不上去,而且锌靶的表面被氧化,采用射频镀的zn,功率40w,而且很难起辉。
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jfgood

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

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感谢参与,应助指数 +1
穿越千年: 欢迎来本版交流 2014-04-17 13:02:36
ghf4664812: 金币+5 2014-04-18 08:11:20
Zn靶,建议不要用这个,对真空污染非常严重,就算能起弧,等时间久了,你就会发现这个东西不断的析出粉末,然后真空里到处都是,大量的存在。之前我上课老师告诉我,不要在真空里单独用Zn靶,后来做实验的时候忘记了。现在后悔死,后来把真空的每个部件都卸了重装整整画了两天的时间才清理干净
2楼2014-04-17 08:49:13
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ghf4664812

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by jfgood at 2014-04-17 08:49:13
Zn靶,建议不要用这个,对真空污染非常严重,就算能起弧,等时间久了,你就会发现这个东西不断的析出粉末,然后真空里到处都是,大量的存在。之前我上课老师告诉我,不要在真空里单独用Zn靶,后来做实验的时候忘记了 ...

zn真的好难搞,蒸发也遇到这个情况,我溅射后整个表明都是一层黑的
3楼2014-04-17 19:06:51
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