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qikai871222

新虫 (小有名气)

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[交流] TEM制备横截面样品的技术交流！！！

为什么制备的TEM横截面样品在薄区上会覆盖一层非晶层？？？？并且所得薄区不是很均匀，我的样品是Si衬底GaN基LED。样品都是用离子减薄获得！
望TEM样品制备高手指点指点，小弟在此感激不尽。。

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1楼2014-03-24 15:07:00

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新虫 (初入文坛)

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专业: 无机非金属类光电信息与功

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

製作薄膜橫截面TEM樣品，通常會使用G1膠將兩片試片膜對膜對黏，G1膠屬於非晶結構。若確定不是G1膠的話，則是以下，離子減薄確�?會使結晶材料非晶化，就是結晶材料被打爛的意思。我遇到的此種狀況通常是打薄時間太久，解決方法有二:1.多在研磨機上多磨幾下，確定邊緣是磨掉?K不是斷掉。2.檢查離子打薄機的校正。
有一些不明顆粒沉積在薄膜上(感覺髒髒的)，確�?是金屬環材料被沉積在試片上，但是你是製作橫截面試片應該要用一上一下的離子束進行打薄，不太會有此問題，當然如果離子束入射角度太低就變成在sputtering金屬環材料了，而你的試片相對就變基材。以上個人�?驗經驗供你參考。