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qikai871222新虫 (小有名气)
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[交流]
TEM制备横截面样品的技术交流！！！
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为什么制备的TEM横截面样品在薄区上会覆盖一层非晶层？？？？并且所得薄区不是很均匀，我的样品是Si衬底GaN基LED。样品都是用离子减薄获得！ 望TEM样品制备高手指点指点，小弟在此感激不尽。。  2.jpg  3.jpg  17.jpg |
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製作薄膜橫截面TEM樣品，通常會使用G1膠將兩片試片膜對膜對黏，G1膠屬於非晶結構。若確定不是G1膠的話，則是以下，離子減薄確�?會使結晶材料非晶化，就是結晶材料被打爛的意思。我遇到的此種狀況通常是打薄時間太久，解決方法有二:1.多在研磨機上多磨幾下，確定邊緣是磨掉?K不是斷掉。2.檢查離子打薄機的校正。 有一些不明顆粒沉積在薄膜上(感覺髒髒的)，確�?是金屬環材料被沉積在試片上，但是你是製作橫截面試片應該要用一上一下的離子束進行打薄，不太會有此問題，當然如果離子束入射角度太低就變成在sputtering金屬環材料了，而你的試片相對就變基材。以上個人�?驗經驗供你參考。 |
6楼2014-03-25 11:21:27
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qikai871222(金币+1): 谢谢参与
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2楼2014-03-24 15:08:24
lijunjie84
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qikai871222
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5楼2014-03-25 08:31:45
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