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汕头大学海洋科学接受调剂
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qikai871222

新虫 (小有名气)

[交流] TEM制备横截面样品的技术交流!!!

为什么制备的TEM横截面样品在薄区上会覆盖一层非晶层????并且所得薄区不是很均匀,我的样品是Si衬底GaN基LED。样品都是用离子减薄获得!
望TEM样品制备高手指点指点,小弟在此感激不尽。。

TEM制备横截面样品的技术交流!!!
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TEM制备横截面样品的技术交流!!!-1
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TEM制备横截面样品的技术交流!!!-2
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幸运倒霉

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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楼主,可否请教你的截面样品制作方法呀?我老是做不好,在磨的过程中就断裂开来,不然就是减薄的时候把中间的胶给打穿,减不到薄膜
8楼2014-07-17 15:21:25
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qikai871222(金币+1): 谢谢参与
2楼2014-03-24 15:08:24
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lijunjie84

版主 (职业作家)

隐者

优秀版主


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你用是占在铜环上么?那个颗粒状的似乎是沉积。最外层的非晶可能是离子束减薄过程中产生的,离子束减薄对样品有损伤,你可以调低电压试一试。
4楼2014-03-24 16:05:23
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qikai871222

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by lijunjie84 at 2014-03-24 16:05:23
你用是占在铜环上么?那个颗粒状的似乎是沉积。最外层的非晶可能是离子束减薄过程中产生的,离子束减薄对样品有损伤,你可以调低电压试一试。

凹坑完以后就粘在Cu环上,但薄区均匀性不是很好。。。
5楼2014-03-25 08:31:45
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