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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 测试表征 » TEM制备横截面样品的技术交流！！！
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qikai871222

新虫 (小有名气)

[交流] TEM制备横截面样品的技术交流！！！

为什么制备的TEM横截面样品在薄区上会覆盖一层非晶层？？？？并且所得薄区不是很均匀，我的样品是Si衬底GaN基LED。样品都是用离子减薄获得！
望TEM样品制备高手指点指点，小弟在此感激不尽。。

TEM制备横截面样品的技术交流！！！
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TEM制备横截面样品的技术交流！！！-1
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TEM制备横截面样品的技术交流！！！-2
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幸运倒霉

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1楼 2014-03-24 15:07:00
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幸运倒霉

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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楼主，可否请教你的截面样品制作方法呀？我老是做不好，在磨的过程中就断裂开来，不然就是减薄的时候把中间的胶给打穿，减不到薄膜
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8楼2014-07-17 15:21:25
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zhaoyan1978
★
qikai871222(金币+1): 谢谢参与
2楼2014-03-24 15:08:24
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lijunjie84

版主 (职业作家)

隐者

优秀版主
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你用是占在铜环上么？那个颗粒状的似乎是沉积。最外层的非晶可能是离子束减薄过程中产生的，离子束减薄对样品有损伤，你可以调低电压试一试。
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4楼2014-03-24 16:05:23
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qikai871222

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by lijunjie84 at 2014-03-24 16:05:23
你用是占在铜环上么？那个颗粒状的似乎是沉积。最外层的非晶可能是离子束减薄过程中产生的，离子束减薄对样品有损伤，你可以调低电压试一试。

凹坑完以后就粘在Cu环上，但薄区均匀性不是很好。。。
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5楼2014-03-25 08:31:45
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