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金属与半导体键合 已有1人参与
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| 求助，金属与半导体键合，有木有一种利用物理力学的方法将一块半导体晶圆贴到铂金基板上的方法？具体是这样的，我想将si衬底上长的AlN剥离下来，在把Aln贴到Pt金基板上去。想用一种比较简便的力学方法把Aln压到基板上去，不知道有没有这种方法，需要用什么设备。 |
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