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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » si片上AAO模板高温处理后如何去除？
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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dadafly133

木虫 (小有名气)

[求助] si片上AAO模板高温处理后如何去除？ 已有5人参与

如题，在850℃热氧化带有AAO模板的Si片，之后用盐酸却去除不掉AAO模板，请问各位大虾有什么好方法除掉模板而又不影响底下的氧化硅。先谢过了
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1楼 2014-02-27 09:03:06
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jasion1314

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以加热试试，30~40摄氏度。还有，把盐酸换成10%磷酸，或许更好
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2楼2014-02-27 09:26:40
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上木科技

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
如果你Si片上没有生长什么需要的材料的话，直接试试胶带剥离？
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3楼2014-02-27 20:23:13
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dadafly133

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by jasion1314 at 2014-02-27 09:26:40
可以加热试试，30~40摄氏度。还有，把盐酸换成10%磷酸，或许更好

忘说了，水浴35℃加热了，磷酸到可以试试
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4楼2014-02-28 08:40:40
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dadafly133

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 上木科技 at 2014-02-27 20:23:13
如果你Si片上没有生长什么需要的材料的话，直接试试胶带剥离？

AAO是先蒸镀到Si片上的Al再氧化形成的，胶带能剥离吗？
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5楼2014-02-28 08:41:59
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上木科技

新虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by dadafly133 at 2014-02-28 08:41:59
AAO是先蒸镀到Si片上的Al再氧化形成的，胶带能剥离吗？...

科研么，总归是要尝试看看的，你可以少量试试
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6楼2014-02-28 13:11:49
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dadafly133

木虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 上木科技 at 2014-02-28 13:11:49
科研么，总归是要尝试看看的，你可以少量试试...

嗯，好的谢谢啦
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7楼2014-02-28 13:58:51
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Easony

至尊木虫 (知名作家)

老顽童

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
索氏提取（硝酸铵+乙醇）
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自信，坚持，善良，真实，简单生活，敢爱敢恨！
8楼2014-02-28 14:37:24
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zyoypx

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

HF 把Si腐蚀掉一些试试
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9楼2014-03-26 16:23:32
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zcyseyzju

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

1M NaOH溶液溶解啊，另楼主能不能加下QQ啊，我想请教下AAO制备问题，我的号是2513868990
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10楼2014-06-24 15:21:48
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