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dadafly133

木虫 (小有名气)

[求助] si片上AAO模板高温处理后如何去除? 已有5人参与

如题,在850℃热氧化带有AAO模板的Si片,之后用盐酸却去除不掉AAO模板,请问各位大虾有什么好方法除掉模板而又不影响底下的氧化硅。先谢过了
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dadafly133

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by jasion1314 at 2014-02-27 09:26:40
可以加热试试,30~40摄氏度。还有,把盐酸换成10%磷酸,或许更好

忘说了,水浴35℃加热了,磷酸到可以试试
4楼2014-02-28 08:40:40
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jasion1314

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可以加热试试,30~40摄氏度。还有,把盐酸换成10%磷酸,或许更好
2楼2014-02-27 09:26:40
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上木科技

新虫 (正式写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果你Si片上没有生长什么需要的材料的话,直接试试胶带剥离?
3楼2014-02-27 20:23:13
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dadafly133

木虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 上木科技 at 2014-02-27 20:23:13
如果你Si片上没有生长什么需要的材料的话,直接试试胶带剥离?

AAO是先蒸镀到Si片上的Al再氧化形成的,胶带能剥离吗?
5楼2014-02-28 08:41:59
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