24小时热门版块排行榜    

查看: 1814  |  回复: 9
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

dadafly133

木虫 (小有名气)

[求助] si片上AAO模板高温处理后如何去除? 已有5人参与

如题,在850℃热氧化带有AAO模板的Si片,之后用盐酸却去除不掉AAO模板,请问各位大虾有什么好方法除掉模板而又不影响底下的氧化硅。先谢过了
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dadafly133

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by jasion1314 at 2014-02-27 09:26:40
可以加热试试,30~40摄氏度。还有,把盐酸换成10%磷酸,或许更好

忘说了,水浴35℃加热了,磷酸到可以试试
4楼2014-02-28 08:40:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

jasion1314

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可以加热试试,30~40摄氏度。还有,把盐酸换成10%磷酸,或许更好
2楼2014-02-27 09:26:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

上木科技

新虫 (正式写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果你Si片上没有生长什么需要的材料的话,直接试试胶带剥离?
3楼2014-02-27 20:23:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dadafly133

木虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 上木科技 at 2014-02-27 20:23:13
如果你Si片上没有生长什么需要的材料的话,直接试试胶带剥离?

AAO是先蒸镀到Si片上的Al再氧化形成的,胶带能剥离吗?
5楼2014-02-28 08:41:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 280求调剂 +6 咕噜晓晓 2026-03-18 7/350 2026-03-18 11:25 by 无际的草原
[基金申请] 被我言中:新模板不强调格式了,假专家开始管格式了 +4 beefly 2026-03-14 4/200 2026-03-17 22:04 by 黄鸟于飞Chao
[考研] 328求调剂,英语六级551,有科研经历 +3 生物工程调剂 2026-03-16 8/400 2026-03-17 19:03 by Wangjingyue
[考研] 考研化学学硕调剂,一志愿985 +4 张vvvv 2026-03-15 6/300 2026-03-17 17:15 by ruiyingmiao
[考研] 本人考085602 化学工程 专硕 +16 不知道叫什么! 2026-03-15 18/900 2026-03-17 17:05 by ruiyingmiao
[考研] 332求调剂 +6 Zz版 2026-03-13 6/300 2026-03-17 17:03 by ruiyingmiao
[考研] 274求调剂 +5 时间点 2026-03-13 5/250 2026-03-17 07:34 by 热情沙漠
[考研] 药学383 求调剂 +3 药学chy 2026-03-15 4/200 2026-03-16 20:51 by 元子^0^
[考研] 304求调剂 +4 ahbd 2026-03-14 4/200 2026-03-16 16:48 by 我的船我的海
[考研] 085600调剂 +5 漾漾123sun 2026-03-12 6/300 2026-03-16 15:58 by 漾漾123sun
[考研] 085601材料工程315分求调剂 +3 yang_0104 2026-03-15 3/150 2026-03-15 10:58 by peike
[考研] 330求调剂 +3 ?酱给调剂跪了 2026-03-13 3/150 2026-03-14 10:13 by JourneyLucky
[基金申请] 有必要更换申报口吗 20+3 fannyamoy 2026-03-11 3/150 2026-03-14 00:52 by zhanghaozhu
[考研] 329求调剂 +3 miaodesi 2026-03-12 4/200 2026-03-13 20:53 by 18595523086
[考研] 301求调剂 +6 Liyouyumairs 2026-03-11 6/300 2026-03-13 20:11 by JourneyLucky
[考研] 工科278分求调剂 +5 周慢热啊 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:49 by JourneyLucky
[考研] 一志愿山大07化学 332分 四六级已过 本科山东双非 求调剂! +3 不想理你 2026-03-12 3/150 2026-03-13 14:18 by JourneyLucky
[论文投稿] 投稿问题 5+4 星光灿烂xt 2026-03-12 6/300 2026-03-13 14:17 by god_tian
[考研] 290求调剂 +3 ADT 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:19 by peike
[考研] 270求调剂 085600材料与化工专硕 +3 YXCT 2026-03-11 3/150 2026-03-13 10:13 by houyaoxu
信息提示
请填处理意见