24小时热门版块排行榜    

查看: 1816  |  回复: 9
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

dadafly133

木虫 (小有名气)

[求助] si片上AAO模板高温处理后如何去除? 已有5人参与

如题,在850℃热氧化带有AAO模板的Si片,之后用盐酸却去除不掉AAO模板,请问各位大虾有什么好方法除掉模板而又不影响底下的氧化硅。先谢过了
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dadafly133

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by jasion1314 at 2014-02-27 09:26:40
可以加热试试,30~40摄氏度。还有,把盐酸换成10%磷酸,或许更好

忘说了,水浴35℃加热了,磷酸到可以试试
4楼2014-02-28 08:40:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

jasion1314

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可以加热试试,30~40摄氏度。还有,把盐酸换成10%磷酸,或许更好
2楼2014-02-27 09:26:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

上木科技

新虫 (正式写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果你Si片上没有生长什么需要的材料的话,直接试试胶带剥离?
3楼2014-02-27 20:23:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dadafly133

木虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 上木科技 at 2014-02-27 20:23:13
如果你Si片上没有生长什么需要的材料的话,直接试试胶带剥离?

AAO是先蒸镀到Si片上的Al再氧化形成的,胶带能剥离吗?
5楼2014-02-28 08:41:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 281求调剂(0805) +6 烟汐忆海 2026-03-16 15/750 2026-03-18 21:12 by Gaodh_82
[考研] 【同济软件】软件(085405)考研求调剂 +3 2026eternal 2026-03-18 3/150 2026-03-18 19:09 by 搏击518
[考研] 085600材料与化工 +5 安全上岸! 2026-03-16 5/250 2026-03-18 15:33 by cmz0325
[考研] 299求调剂 +5 △小透明* 2026-03-17 5/250 2026-03-18 11:49 by 尽舜尧1
[考研] 303求调剂 +4 睿08 2026-03-17 6/300 2026-03-18 11:01 by Iveryant
[考研] 考研化学学硕调剂,一志愿985 +4 张vvvv 2026-03-15 6/300 2026-03-17 17:15 by ruiyingmiao
[考研] 290求调剂 +6 孔志浩 2026-03-12 11/550 2026-03-17 14:41 by 周舟舟77
[考研] 中科院材料273求调剂 +4 yzydy 2026-03-15 4/200 2026-03-16 15:59 by Gaodh_82
[考研] 085600调剂 +5 漾漾123sun 2026-03-12 6/300 2026-03-16 15:58 by 漾漾123sun
[考研] 085600材料与化工 求调剂 +13 enenenhui 2026-03-13 14/700 2026-03-16 15:19 by 了了了了。。
[考研] 277材料科学与工程080500求调剂 +3 自由煎饼果子 2026-03-16 3/150 2026-03-16 14:10 by 运气yunqi
[考研] 070305求调剂 +3 mlpqaz03 2026-03-14 4/200 2026-03-15 11:04 by peike
[考研] 本科南京大学一志愿川大药学327 +3 麦田耕者 2026-03-14 3/150 2026-03-14 20:04 by 外星文明
[考研] 复试调剂 +3 呼呼?~+123456 2026-03-14 3/150 2026-03-14 16:53 by WTUChen
[考研] 学硕285求调剂 +13 Wisjxn 2026-03-12 46/2300 2026-03-14 10:33 by JourneyLucky
[考研] 求材料调剂 085600英一数二总分302 前三科235 精通机器学习 一志愿哈工大 +4 林yaxin 2026-03-12 4/200 2026-03-13 22:04 by 星空星月
[考研] 329求调剂 +3 miaodesi 2026-03-12 4/200 2026-03-13 20:53 by 18595523086
[硕博家园] 085600 260分求调剂 +3 天空还下雨么 2026-03-13 5/250 2026-03-13 18:46 by 天空还下雨么
[考研] 材料301分求调剂 +5 Liyouyumairs 2026-03-12 5/250 2026-03-13 14:42 by JourneyLucky
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +3 崔wj 2026-03-12 4/200 2026-03-12 19:33 by 求调剂zz
信息提示
请填处理意见