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dadafly133木虫 (小有名气)
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si片上AAO模板高温处理后如何去除?已有5人参与
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| 如题,在850℃热氧化带有AAO模板的Si片,之后用盐酸却去除不掉AAO模板,请问各位大虾有什么好方法除掉模板而又不影响底下的氧化硅。先谢过了 |
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jasion1314
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2楼2014-02-27 09:26:40
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4楼2014-02-28 08:40:40
dadafly133
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5楼2014-02-28 08:41:59
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6楼2014-02-28 13:11:49
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7楼2014-02-28 13:58:51
Easony
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zyoypx
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