24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
查看: 1639  |  回复: 9
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

dadafly133

木虫 (小有名气)

[求助] si片上AAO模板高温处理后如何去除?已有5人参与

如题,在850℃热氧化带有AAO模板的Si片,之后用盐酸却去除不掉AAO模板,请问各位大虾有什么好方法除掉模板而又不影响底下的氧化硅。先谢过了
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

上木科技

新虫 (正式写手)


引用回帖:
5楼: Originally posted by dadafly133 at 2014-02-28 08:41:59
AAO是先蒸镀到Si片上的Al再氧化形成的,胶带能剥离吗?...

科研么,总归是要尝试看看的,你可以少量试试
6楼2014-02-28 13:11:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

jasion1314

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可以加热试试,30~40摄氏度。还有,把盐酸换成10%磷酸,或许更好
2楼2014-02-27 09:26:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

上木科技

新虫 (正式写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果你Si片上没有生长什么需要的材料的话,直接试试胶带剥离?
3楼2014-02-27 20:23:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dadafly133

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by jasion1314 at 2014-02-27 09:26:40
可以加热试试,30~40摄氏度。还有,把盐酸换成10%磷酸,或许更好

忘说了,水浴35℃加热了,磷酸到可以试试
4楼2014-02-28 08:40:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
信息提示
请填处理意见