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dadafly133

木虫 (小有名气)

[求助] si片上AAO模板高温处理后如何去除?已有5人参与

如题,在850℃热氧化带有AAO模板的Si片,之后用盐酸却去除不掉AAO模板,请问各位大虾有什么好方法除掉模板而又不影响底下的氧化硅。先谢过了
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jasion1314

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可以加热试试,30~40摄氏度。还有,把盐酸换成10%磷酸,或许更好
2楼2014-02-27 09:26:40
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