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dadafly133

木虫 (小有名气)

[求助] si片上AAO模板高温处理后如何去除?已有5人参与

如题,在850℃热氧化带有AAO模板的Si片,之后用盐酸却去除不掉AAO模板,请问各位大虾有什么好方法除掉模板而又不影响底下的氧化硅。先谢过了
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zcyseyzju

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

1M NaOH溶液溶解啊,另楼主能不能加下QQ啊,我想请教下AAO制备问题,我的号是2513868990
10楼2014-06-24 15:21:48
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