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新虫 (初入文坛)

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[求助] 铝薄膜退火问题已有1人参与

请问一下，我硅基上镀钛膜（50nm）镍（50nm）铝（1um）然后拿去500度退火5小时。。。为什么表面会变成淡黄色呢？
是因为铝氧化了吗？还是变成镍铝合金了。。。谢！

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1楼 2014-02-23 21:19:10

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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

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专业: 功能陶瓷

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

这需要做一下XRD后才能确定啊。

2楼2014-02-23 23:38:26

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liqinlan

银虫 (小有名气)

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专业: 固体力学

你好，请问问题解决了吗

1+1=2

3楼2019-01-02 15:15:43

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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家

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专业: 半导体电子器件

空气退火5小时
有一种可能性：铝完全氧化，变成透明的氧化铝；镍不完全氧化，变成黄绿色的氧化镍。

4楼2019-12-02 10:46:48

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