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原子层沉积复合薄膜厚退火的作用？谁知道啊？
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| 用原子层沉积复合薄膜后，如氧化钛和氧化铝叠层，往往要进行500度左右的热处理，这是为何？为了消除应力？形成晶态结构》？还是使两层的界面扩散一下增加结合力。 |
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