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原子层沉积复合薄膜厚退火的作用?谁知道啊?
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| 用原子层沉积复合薄膜后,如氧化钛和氧化铝叠层,往往要进行500度左右的热处理,这是为何?为了消除应力?形成晶态结构》?还是使两层的界面扩散一下增加结合力。 |
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5楼2013-09-28 22:25:50
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youxi22楼
2013-09-28 13:49
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求不重复3楼
2013-09-28 13:50
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2013-09-28 14:04
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xiejf6楼
2013-09-29 19:28
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2013-09-29 23:30
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2013-09-30 14:11
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nenuzxn10楼
2014-03-30 15:04
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LifePursuit11楼
2014-03-30 15:17
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