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原子层沉积复合薄膜厚退火的作用?谁知道啊?
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wyw423
银虫
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虫号: 487942
[交流]
原子层沉积复合薄膜厚退火的作用?谁知道啊?
用原子层沉积复合薄膜后,如氧化钛和氧化铝叠层,往往要进行500度左右的热处理,这是为何?为了消除应力?形成晶态结构》?还是使两层的界面扩散一下增加结合力。
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2013-09-28 13:49:10
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银虫
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wyw423(金币+1): 谢谢参与
主要是为了增加结合力和扩大晶粒尺寸
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5楼
2013-09-28 22:25:50
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youxi2
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2013-09-28 13:49
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