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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 原子层沉积复合薄膜厚退火的作用？谁知道啊？
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wyw423

银虫 (正式写手)

[交流] 原子层沉积复合薄膜厚退火的作用？谁知道啊？

用原子层沉积复合薄膜后，如氧化钛和氧化铝叠层，往往要进行500度左右的热处理，这是为何？为了消除应力？形成晶态结构》？还是使两层的界面扩散一下增加结合力。
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1楼 2013-09-28 13:49:10
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思凡的沙弥

银虫 (小有名气)
★
wyw423(金币+1): 谢谢参与
主要是为了增加结合力和扩大晶粒尺寸
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5楼2013-09-28 22:25:50
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