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lanhai90

新虫 (初入文坛)

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[求助] 求助：想具体了解一下光刻，请问哪位可以帮帮忙，谢谢已有1人参与

求助：我想在钛片上光刻，是的长出来的纳米管是有间隙的？具体我没大接触过光刻，请问有哪位高手可以教教我？非常感谢

[ Last edited by supernatural on 2014-2-17 at 14:24 ]

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1楼 2014-02-17 14:21:28

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yswyx

专家顾问 (著名写手)

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【答案】应助回帖

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钛片的光刻难度比较大，主要是不平整。可以考虑至硅片上先溅射钛，再光刻。而且你要给出光刻图形的定义，比如什么样的图案，尺寸，面积等等。

2楼2014-02-19 15:58:01

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