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求助:想具体了解一下光刻,请问哪位可以帮帮忙,谢谢
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专业: 化工系统工程
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]
求助:想具体了解一下光刻,请问哪位可以帮帮忙,谢谢
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求助:我想在钛片上光刻,是的长出来的纳米管是有间隙的?具体我没大接触过光刻,请问有哪位高手可以教教我?非常感谢
[
Last edited by supernatural on 2014-2-17 at 14:24
]
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1楼
2014-02-17 14:21:28
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注册: 2007-10-30
性别: GG
专业: 半导体微纳机电器件与系统
管辖:
微米和纳米
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
钛片的光刻难度比较大,主要是不平整。可以考虑至硅片上先溅射钛,再光刻。而且你要给出光刻图形的定义,比如什么样的图案,尺寸,面积等等。
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2楼
2014-02-19 15:58:01
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