| 查看: 1863 | 回复: 6 | |||
[求助]
在20nm的二氧化硅层上rie100nm的孔洞 光刻胶为pmma，匀胶300nm，请问曝光时间强度 已有2人参与
|
| 哪位大侠能给出具体光刻步骤和参数 在下不胜感激 |
回复此楼» 猜你喜欢
湖北师范大学复试调剂
已经有0人回复
-
武汉纺织大学_化工学院官方调剂群-院士团队招生-学生自由度高-每届发展好
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有170人回复
-
济南大学国家优青课题组 2026 调剂招生来啦
已经有0人回复
-
武汉纺织大学_化学院官方调剂群-院士团队招生-学生自由度高发展好-欢迎各位同学
已经有0人回复
-
西华大学 化学 调剂有名额
已经有0人回复
-
上海应用技术大学招生调剂研究生
已经有7人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 如何制备100nm左右的PMMA薄膜？
已经有13人回复
- 【求助】关于光刻匀胶烤胶设备及光刻胶的选择
已经有4人回复
- 【请教】光刻失败后 大家是如何清洗SiO2上的光刻胶的
已经有19人回复
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2014-01-16 16:21:08
3楼2014-01-16 21:03:48
定风波~
金虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1169.1
- 散金: 75
- 帖子: 90
- 在线: 109.2小时
- 虫号: 1044692
- 注册: 2010-06-20
- 性别: GG
- 专业: 生物医用高分子材料
4楼2014-01-16 21:03:59
fyl1989
金虫 (正式写手)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 1194.1
- 散金: 26
- 红花: 10
- 帖子: 507
- 在线: 151.1小时
- 虫号: 2245000
- 注册: 2013-01-16
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
5楼2014-01-17 13:56:12
定风波~
金虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1169.1
- 散金: 75
- 帖子: 90
- 在线: 109.2小时
- 虫号: 1044692
- 注册: 2010-06-20
- 性别: GG
- 专业: 生物医用高分子材料
6楼2014-02-19 14:27:31
7楼2014-09-29 09:44:37
