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GC-MS的故障分析
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GC-MS:5973/6890的vacuum status显示如下的状态 Pump Down In Progress Diffusion Pump Status:Heater Off,Hot Ms Source:46 Deg C Foreline Pressure:40 mTorr (Pressure OK) MS Temp setpoints will remain off until pump ready. 四级杆的温度:MS Quad:34、35之间跳来跳去。 拜请高手解析出现这种状况的原因,以及如何解决问题。 非常感谢! |
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