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GC-MS的故障分析
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GC-MS：5973/6890的vacuum status显示如下的状态 Pump Down In Progress Diffusion Pump Status：Heater Off，Hot Ms Source：46 Deg C Foreline Pressure：40 mTorr （Pressure OK） MS Temp setpoints will remain off until pump ready. 四级杆的温度：MS Quad:34、35之间跳来跳去。 拜请高手解析出现这种状况的原因，以及如何解决问题。 非常感谢！ |
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