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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 有可以快速冷却的LPCVD吗？
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Angusskanal

木虫 (小有名气)

[交流] 有可以快速冷却的LPCVD吗？

希望从1000摄氏度开始降温时，每秒降10度以上，但我们的LPCVD只能自然降温。问题来了：
请问LPCVD理论上就不可能快速降温吗？我的理解是，只有常压CVD才能快速冷却。低压CVD因为在真空中，所以不能快速冷却。我希望我错了，请大神解答，真空中能快速冷却吗？谢谢。
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1楼 2013-10-21 18:42:35
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herome

金虫 (知名作家)
★
Angusskanal(金币+1): 谢谢参与
祝福楼主
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10楼2013-10-21 20:17:10
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lastpython

木虫 (职业作家)
★
Angusskanal(金币+1): 谢谢参与
愿楼主心想事成
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11楼2013-10-21 20:18:08
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wendy3

金虫 (文坛精英)
★
Angusskanal(金币+1): 谢谢参与
Good luck
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12楼2013-10-21 20:18:09
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seeforme

新虫 (知名作家)
★
Angusskanal(金币+1): 谢谢参与
祝福楼主
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13楼2013-10-21 20:18:10
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b729

金虫 (文坛精英)
★
Angusskanal(金币+1): 谢谢参与
愿楼主心想事成
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14楼2013-10-21 20:19:11
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4531647

金虫 (小有名气)
★
Angusskanal(金币+1): 谢谢参与
我们的就是快速冷却，开合式的管式炉，直接拿出来冷却，外加吹风机。
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19楼2013-10-21 23:05:47
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Angusskanal

木虫 (小有名气)
引用回帖:
19楼: Originally posted by 4531647 at 2013-10-21 23:05:47
我们的就是快速冷却，开合式的管式炉，直接拿出来冷却，外加吹风机。

你们是在低压下生长吗？生长完立即取出，置于大气中吗？
赞一下 回复此楼
20楼2013-10-22 03:35:55
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)
★
Angusskanal(金币+1): 谢谢参与
上个设备结构图

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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21楼2013-10-22 06:23:45
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hngstephen

铜虫 (正式写手)
★
Angusskanal(金币+1): 谢谢参与
可能跟tool chamber size有关
我用的是200mm的tool, 低压时降温一般~4C/s就不错了
10C/s不可能
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22楼2013-10-23 14:35:12
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haixiawu2楼
2013-10-21 18:50   回复  
Angusskanal(金币+1): 谢谢参与
流水有情3楼
2013-10-21 18:55   回复  
Angusskanal(金币+1): 谢谢参与
祝福
求不重复4楼
2013-10-21 18:55   回复  
Angusskanal(金币+1): 谢谢参与
readytogo5楼
2013-10-21 18:55   回复  
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youxi26楼
2013-10-21 19:16   回复  
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zhihaikou7楼
2013-10-21 19:40   回复  
Angusskanal(金币+1): 谢谢参与
祝福祝福！！！
xiejf8楼
2013-10-21 19:55   回复  
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沧__海9楼
2013-10-21 20:12   回复  
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鬼厉（小凡）15楼
2013-10-21 20:23   回复  
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祝福
gengxin6016楼
2013-10-21 20:36   回复  
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boyuehu17楼
2013-10-21 20:43   回复  
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yingying158818楼
2013-10-21 22:34   回复  
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