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有可以快速冷却的LPCVD吗?
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希望从1000摄氏度开始降温时,每秒降10度以上,但我们的LPCVD只能自然降温。问题来了: 请问LPCVD理论上就不可能快速降温吗?我的理解是,只有常压CVD才能快速冷却。低压CVD因为在真空中,所以不能快速冷却。我希望我错了,请大神解答,真空中能快速冷却吗?谢谢。 |
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