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有可以快速冷却的LPCVD吗?
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查看: 2018 | 回复: 21
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Angusskanal
木虫
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帖子: 189
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虫号: 1804089
[交流]
有可以快速冷却的LPCVD吗?
希望从1000摄氏度开始降温时,每秒降10度以上,但我们的LPCVD只能自然降温。问题来了:
请问LPCVD理论上就不可能快速降温吗?我的理解是,只有常压CVD才能快速冷却。低压CVD因为在真空中,所以不能快速冷却。我希望我错了,请大神解答,真空中能快速冷却吗?谢谢。
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2013-10-21 18:42:35
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★
Angusskanal(金币+1): 谢谢参与
我们的就是快速冷却,开合式的管式炉,直接拿出来冷却,外加吹风机。
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19楼
2013-10-21 23:05:47
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