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Angusskanal

木虫 (小有名气)


[交流] 有可以快速冷却的LPCVD吗?

希望从1000摄氏度开始降温时,每秒降10度以上,但我们的LPCVD只能自然降温。问题来了:
请问LPCVD理论上就不可能快速降温吗?我的理解是,只有常压CVD才能快速冷却。低压CVD因为在真空中,所以不能快速冷却。我希望我错了,请大神解答,真空中能快速冷却吗?谢谢。
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wendy3

金虫 (文坛精英)



Angusskanal(金币+1): 谢谢参与
Good luck
12楼2013-10-21 20:18:09
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