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有可以快速冷却的LPCVD吗?
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Angusskanal
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[交流]
有可以快速冷却的LPCVD吗?
希望从1000摄氏度开始降温时,每秒降10度以上,但我们的LPCVD只能自然降温。问题来了:
请问LPCVD理论上就不可能快速降温吗?我的理解是,只有常压CVD才能快速冷却。低压CVD因为在真空中,所以不能快速冷却。我希望我错了,请大神解答,真空中能快速冷却吗?谢谢。
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1楼
2013-10-21 18:42:35
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引用回帖:
19楼
:
Originally posted by
4531647
at 2013-10-21 23:05:47
我们的就是快速冷却,开合式的管式炉,直接拿出来冷却,外加吹风机。
你们是在低压下生长吗?生长完立即取出,置于大气中吗?
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20楼
2013-10-22 03:35:55
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