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有可以快速冷却的LPCVD吗?
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Angusskanal
木虫
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帖子: 189
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虫号: 1804089
[交流]
有可以快速冷却的LPCVD吗?
希望从1000摄氏度开始降温时,每秒降10度以上,但我们的LPCVD只能自然降温。问题来了:
请问LPCVD理论上就不可能快速降温吗?我的理解是,只有常压CVD才能快速冷却。低压CVD因为在真空中,所以不能快速冷却。我希望我错了,请大神解答,真空中能快速冷却吗?谢谢。
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新虫
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(幼儿园)
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在线: 94.6小时
虫号: 2511033
★
Angusskanal(金币+1): 谢谢参与
祝福楼主
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13楼
2013-10-21 20:18:10
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