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有可以快速冷却的LPCVD吗？
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希望从1000摄氏度开始降温时，每秒降10度以上，但我们的LPCVD只能自然降温。问题来了： 请问LPCVD理论上就不可能快速降温吗？我的理解是，只有常压CVD才能快速冷却。低压CVD因为在真空中，所以不能快速冷却。我希望我错了，请大神解答，真空中能快速冷却吗？谢谢。 |
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